[發明專利]一種用于光學表面粗糙度標定的參考平面生成裝置無效
| 申請號: | 201210061598.6 | 申請日: | 2012-03-09 |
| 公開(公告)號: | CN102636132A | 公開(公告)日: | 2012-08-15 |
| 發明(設計)人: | 王君林;王紹治;劉建;馬占龍;張玲花 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | G01B11/30 | 分類號: | G01B11/30 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人: | 南小平 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 光學 表面 粗糙 標定 參考 平面 生成 裝置 | ||
1.一種用于光學表面粗糙度標定的參考平面生成裝置,其特征在于該裝置包括液態水銀(2)、容器外壁(3)、容器口(4)、阻尼結構(5)和密封蓋(6);所述阻尼結構(5)位于容器外壁(3)內部下方。
2.根據權利要求1所述的一種用于光學表面粗糙度標定的參考平面生成裝置,其特征是,容器口(4)大小與光學粗糙度檢測鏡頭(1)口徑相同。
3.根據權利要求1所述的一種用于光學表面粗糙度標定的參考平面生成裝置,其特征是,阻尼元件(5)是排列的立柱或柵格板。
4.根據權利要求1所述的一種用于光學表面粗糙度標定的參考平面生成裝置,其特征是,密封蓋(6)與容器口(4)是螺紋連接且密閉。
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