[發(fā)明專利]排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210061096.3
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102601084A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 凌意明;周孟興;江瑞星;王逸爾
• 申請（專利權(quán)）人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032;G03F7/16
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域，尤其涉及一種排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體光刻過程中的涂膠顯影機臺，其結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括涂膠腔室10、晶圓承載臺11及排氣管道12，所述晶圓承載臺11設(shè)于所述涂膠腔室10內(nèi)部，晶圓片放置于所述晶圓承載臺11上，目前，所述排氣管道12為由一根豎向管道121與一根橫向管道122相互連接組成的彎管，該豎向管道121與所述涂膠腔室10相連通，用以排放涂膠腔室內(nèi)的氣體，在涂膠過程中，所述涂膠顯影機臺利用高速旋轉(zhuǎn)的電機帶動所述晶圓承載臺11旋轉(zhuǎn)，在此過程中，80％左右的光阻會被甩掉，這80％左右的光阻中的大部分光阻會順著所述排氣管道12流走，還有小部分因高速旋轉(zhuǎn)而形成的微小顆粒會慢慢吸附在排氣管道12的豎向管道121的管壁上，隨著顆粒數(shù)量的增加，這些附著的小顆粒會對后續(xù)的晶圓產(chǎn)生不良影響，具體地，當(dāng)顆粒物達(dá)到一定程度后，顆粒容易飄落到涂膠腔室內(nèi)，一旦落在晶圓表面上，會在晶圓表面形成各類缺陷，例如是球缺陷，使得產(chǎn)品良率顯著降低。

目前的處理方法為將排氣管道拆卸后噴灑溶劑(稀釋劑)來清洗光阻固化粉塵顆粒，但拆卸過程繁瑣且消耗一定的人力物力。

因此，如何提供一種排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺，以解決現(xiàn)有排氣管道拆除清洗繁瑣的問題。

為解決上述技術(shù)問題，提供了一種排氣管道自動清潔裝置，設(shè)置于涂膠顯影機臺的排氣管道，所述排氣管道是由第一管和第二管連接組成的彎管，所述第一管與所述涂膠顯影機臺的涂膠腔室連通，所述排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴和排液管，所述噴嘴設(shè)置于所述第一管的內(nèi)壁，所述排液管連接于所述第一管的下方并與所述第一管連通。

優(yōu)選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述排液管中設(shè)有第一開關(guān)閥門。

優(yōu)選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第二管中還設(shè)有一第二開關(guān)閥門。

優(yōu)選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，，所述排液管中還設(shè)有一單向閥門。

優(yōu)選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第一管豎向設(shè)置。

優(yōu)選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第二管和第一管的夾角小于90度。

優(yōu)選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述噴嘴可選用一個或多個。

本發(fā)明還提供了一種涂膠顯影機臺，包括設(shè)于涂膠腔室內(nèi)的晶圓承載臺以及與所述涂膠腔室連通的排氣管道，所述排氣管道上設(shè)有如上所述的排氣管道自動清潔裝置。

本發(fā)明提供的排氣管道自動清潔裝置，設(shè)置于涂膠顯影機臺的排氣管道，所述排氣管道是由第一管和第二管連接組成的彎管，所述第一管與所述涂膠顯影機臺的涂膠腔室連通，所述排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴與排液管，所述噴嘴設(shè)置于所述第一管的內(nèi)壁，所述排液管連接于所述第一管的下方并與所述第一管連通。通過設(shè)置噴嘴可以定期自動或人為控制向所述排氣管道的容易積累光阻粉塵顆粒的第一管噴灑清洗溶劑，從而達(dá)到在不拆洗排氣管道的前提下，及時清洗累積在排氣管道內(nèi)壁上的光阻粉塵顆粒的目的。

同理，本發(fā)明提供的涂膠顯影機臺，通過在排氣管道設(shè)置如上所述的排氣管道自動清潔裝置，通過噴嘴可以定期自動或人為控制向所述排氣管道的容易積累光阻粉塵顆粒的第一管噴灑清洗溶劑，從而達(dá)到在不拆洗排氣管道的前提下，及時清洗累積在排氣管道內(nèi)壁上的光阻粉塵顆粒的目的，節(jié)省了拆裝排氣管道所需的人力、物力，減少了機臺的停工期，有效增加產(chǎn)能及生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的涂膠顯影機臺結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式做詳細(xì)的說明。

請參閱圖2，圖2所示為本發(fā)明的排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖2可見，本實施例提供的涂膠顯影機臺，包括涂膠腔室20、晶圓承載臺21和排氣管道22以及設(shè)置于所述排氣管道22上的排氣管道自動清潔裝置，所述晶圓承載臺21位于所述涂膠腔室20中央位置，所述晶圓放置于所述晶圓承載臺21上，所述排氣管道22設(shè)置于所述涂膠腔室20的底部，并與所述涂膠腔室20連通。