[發明專利]排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺

有效

• 申請號: 201210061096.3
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102601084A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 凌意明;周孟興;江瑞星;王逸爾
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032;G03F7/16
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種排氣管道自動清潔裝置，設置于涂膠顯影機臺的排氣管道，所述排氣管道是由第一管和第二管連接組成的彎管，所述第一管與所述涂膠顯影機臺的涂膠腔室連通，其特征在于，所述排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴和排液管，所述噴嘴設置于所述第一管的內壁，所述排液管連接于所述第一管的下方并與所述第一管連通。

2.如權利要求1所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述排液管中設有第一開關閥門。

3.如權利要求1所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述第二管中還設有一第二開關閥門。

4.如權利要求1所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述排液管中還設有一單向閥門。

5.如權利要求1所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述第一管豎向設置。

6.如權利要求5所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述第二管和第一管的夾角小于90度。

7.如權利要求1所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述噴嘴可選用一個或多個。

8.一種涂膠顯影機臺，包括設于涂膠腔室內的晶圓承載臺以及與所述涂膠腔室連通的排氣管道，其特征在于，所述排氣管道上設有如權利要求1～7中任意一項所述的排氣管道自動清潔裝置。