[發(fā)明專利]一種新型鐵基合金靶材的制造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210045477.2
• 申請(qǐng)日: 2012-02-27
• 公開（公告）號(hào): CN102534350A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒碩華;袁澤中;李應(yīng)國(guó);王萍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南中精倫金屬材料有限公司
• 主分類號(hào): C22C33/04
• 分類號(hào): C22C33/04;C22C38/00;C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及合金靶材的制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種新型鐵基合金靶材的制造方法。

背景技術(shù)

目前，鐵基合金靶材主要的應(yīng)用領(lǐng)域是用于電腦硬盤磁頭的制作，電腦硬盤磁頭的主要作用是海量數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)及讀寫，磁頭是硬盤中最昂貴的部件，也是硬盤技術(shù)中最重要和最關(guān)鍵的一環(huán)。而鐵鉿合金正是制作磁頭的一種主要材料，因此對(duì)鐵鉿合金靶材的內(nèi)部質(zhì)量（無(wú)任何鑄造缺陷：如氣孔、夾渣、疏松等）及純度都有很高要求。而在2010年之前的一段時(shí)間，此種鐵基合金靶材制造一般都采用非真空熔煉鑄造，鉿與空氣容易反應(yīng)造成大量的燒損，同時(shí)鑄錠的內(nèi)部特別容易出現(xiàn)氣孔、疏松等缺陷。使用此種傳統(tǒng)的方法，其缺點(diǎn)在于：一是鉿的燒損造成原材料投入多，成本較高，二是無(wú)法做出滿足客戶成分純度要求和內(nèi)外表面無(wú)任何鑄造缺陷的合格靶材。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種新型鐵基合金靶材的制造方法。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案：

1）鐵基合金靶材的元素含量為：Fe（69.05±0.5）%、Hf（30.95±0.5）%，按所設(shè)計(jì)的Fe基合金靶材的元素含量計(jì)算所需的Fe、Hf二種元素的重量；

2）根據(jù)所需的Fe、Hf二種元素的重量，取純度均在99.9%以上的純金屬作為原材料；

3）將所取的金屬原材料放入定制的耐高溫的ZrO坩堝中，進(jìn)行真空熔煉并鑄造成鑄錠，熔煉時(shí)真空度為8×10^-2Pa，熔煉溫度是1690±10℃，澆注溫度是1670±10℃；

4）將所鑄造的鑄錠進(jìn)行機(jī)加工制得所需形狀的靶材；?

最佳實(shí)施情況下，鐵基合金靶材的元素含量為：Fe（69.05±0.5）%、Hf（30.95±0.5）%。

最佳實(shí)施情況下，熔煉溫度是1690±10℃。

最佳實(shí)施情況下，澆注溫度是1670±10℃。

最佳實(shí)施情況下，所使用的坩堝為耐高溫的ZrO坩堝。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：

本發(fā)明在傳統(tǒng)鑄造方法的基礎(chǔ)上，對(duì)鑄造工藝進(jìn)行了改良，采用真空感應(yīng)熔煉爐進(jìn)行熔煉鑄造，大幅度提高了鑄造溫度，延長(zhǎng)了精煉時(shí)間，具有生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，生產(chǎn)成本低廉，易于推廣應(yīng)用等特點(diǎn)。它可克服現(xiàn)有生產(chǎn)工藝在傳統(tǒng)生產(chǎn)制作上的一些不足，同時(shí)有效提高材料的利用率，降低生產(chǎn)成本。同時(shí)采用此技術(shù)可有效保證靶材的成份均勻以及高純度，熔煉時(shí)采用高真空避免了原材料金屬鉿的熔煉燒損，較長(zhǎng)時(shí)間的高溫精煉工藝有效保證了鑄錠的成分均勻，最后的真空澆注也避免了氣孔、夾渣等缺陷在鑄錠內(nèi)部的存在。表1示出了鐵鉿合金鑄錠在不同部位取樣分析的合金成份結(jié)果，從分析結(jié)果看，不同部位取樣成份差異均在0.5%以內(nèi)，表2示出了ICP-OES等離子體光譜儀分析鐵鉿鑄錠中雜質(zhì)元素含量，結(jié)果說(shuō)明本發(fā)明的鐵鉿合金靶材純度達(dá)到了99.9%以上。

表?1??在鐵鉿方形鑄錠不同部位取樣分析的合金成份結(jié)果