[發(fā)明專(zhuān)利]一種新型鐵基合金靶材的制造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210045477.2
• 申請(qǐng)日: 2012-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102534350A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒碩華;袁澤中;李應(yīng)國(guó);王萍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 湖南中精倫金屬材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C22C33/04
• 分類(lèi)號(hào): C22C33/04;C22C38/00;C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種新型鐵基合金靶材的制造方法，其特征是，它包括以下步驟：

（1）鐵基合金靶材的元素含量為：Fe（69.05±0.5）%、Hf（30.95±0.5）%，按所設(shè)計(jì)的元素含量計(jì)算所需的Fe、Hf二種元素的重量；

（2）根據(jù)（1）步所需的Fe、Hf二種元素的重量，取純度均在99.9%以上的純金屬作為原材料；

（3）將（2）步所需的金屬原材料放入坩堝中，進(jìn)行真空熔煉并鑄造成鑄錠，熔煉時(shí)真空度為8×10^-2Pa，熔煉溫度是1690±10℃，澆注溫度是1670±10℃；

（4）將（3）步所鑄造的鑄錠進(jìn)行機(jī)加工制得所需形狀的靶材。

2.按權(quán)利要求1所述的一種新型鐵基合金靶材的制造方法，其特征在于，鐵基合金靶材的元素含量為：Fe（69.05±0.5）%、Hf（30.95±0.5）%。

3.按權(quán)利要求1所述的一種新型鐵基合金靶材的制造方法，其特征在于，熔煉溫度是1690±10℃。

4.按權(quán)利要求1所述的一種新型鐵基合金靶材的制造方法，其特征在于，澆注溫度是1670±10℃。

5.按權(quán)利要求1所述的一種新型鐵基合金靶材的制造方法，其特征在于，所使用的坩堝為耐高溫的ZrO坩堝。