[發明專利]一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置及方法

有效

• 申請號: 201210042925.3
• 申請日: 2012-02-23
• 公開（公告）號: CN102569150A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 吳儀;王浩;李偉;王銳廷;張豹
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝;王瑩

1.一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，包括旋轉軸及可在所述旋轉軸帶動下旋轉的卡盤主體，其特征在于，所述卡盤主體的邊緣設置有至少兩組夾持元件，所述每組夾持元件包括至少3個夾持元件，所述夾持元件可以以其與所述卡盤主體的連接點為旋轉中心進行擺動，用于卡緊所述薄壁盤狀物；所述夾持元件的底端與所述卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧，所述壓縮彈簧用于為所述夾持元件提供卡緊力；

所述夾持元件與所述卡盤主體之間設置有驅動部件，用于通過推動或吸引使所述夾持元件擺動；清洗時所述同組夾持元件的動作一致，所述兩組夾持元件交替打開和卡緊。

2.如權利要求1所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述驅動元件為氣缸或電磁鐵，當驅動部件為電磁鐵時，所述夾持元件設置有相應的鐵磁性材料。

3.如權利要求2所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持元件為兩組，其上均設置有磁鐵，所述同組夾持元件的磁鐵極性一致，兩組夾持元件之間的磁鐵極性相反；所述卡盤主體的內圍設置有多個電磁鐵，所述電磁鐵的個數大于等于所述夾持元件的個數，所述電磁鐵的極性及時間均為可控。

4.如權利要求3所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述不同組的夾持元件之間為間隔、均勻分布。

5.如權利要求4所述的易清洗的盤狀夾持裝置，其特征在于，所述每組夾持元件的個數均為3個，所述電磁鐵的個數為18個，其中9個一組，并間隔、均勻分布，同組電磁鐵通入同向電流。

6.如權利要求1所述的易清洗的盤狀夾持裝置，其特征在于，所述卡盤主體與所述夾持元件對應的位置上設置有限位結構，用于限制所述夾持元件相對于所述卡盤主體的擺動。

7.如權利要求1所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持元件的頂端設置有凹槽結構，用于夾緊所述薄壁盤狀物。

8.一種易清洗的薄壁盤狀物夾持方法，其特征在于，對薄壁盤狀物清洗時，薄壁盤狀物的夾持元件交替打開、卡緊，從而對薄壁盤狀物的夾持部位清洗。

9.如權利要求8所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持方法，其特征在于，通過改變電磁鐵的極性實現對具有鐵磁性的夾持元件夾持動作的控制。

10.如權利要求9所述的易清洗的薄壁盤狀物夾持方法，其特征在于，對薄壁盤狀物清洗完畢后，通過電磁鐵與夾持元件的鐵磁性同極相斥將夾持元件打開，然后通過機械手將薄壁盤狀物從卡盤上取走。