[發(fā)明專利]多芯片堆棧的封裝件及其制法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210040754.0 | 申請(qǐng)日: | 2012-02-21 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103208486A | 公開(公告)日: | 2013-07-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 蔡芳霖;江政嘉;劉正仁;施嘉凱;張翊峰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 矽品精密工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L25/065 | 分類號(hào): | H01L25/065;H01L23/495 |
| 代理公司: | 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314 | 代理人: | 程偉;王錦陽 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 堆棧 封裝 及其 制法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種封裝件及其制法,尤其指一種多芯片堆棧的封裝件及其制法。
背景技術(shù)
隨著半導(dǎo)體封裝件的尺寸愈來愈小并且功能愈來愈多的需求不斷地上升,業(yè)界不斷開發(fā)新的封裝件技術(shù),其中一種方式便是將半導(dǎo)體芯片垂直地堆棧并封裝于基板上,以達(dá)到封裝空間的有效充分運(yùn)用。
請(qǐng)參閱圖1,其為現(xiàn)有例如第7,535,109號(hào)美國(guó)專利的層疊式半導(dǎo)體封裝件的剖視圖。
如圖所示,將多個(gè)半導(dǎo)體芯片11垂直堆棧于基板10上,各該半導(dǎo)體芯片11之間間隔有環(huán)氧樹脂12,各該半導(dǎo)體芯片11具有焊墊111,該焊墊111上經(jīng)由打線機(jī)臺(tái)焊接焊線14,并于該基板10上形成垂直豎設(shè)的導(dǎo)電膠13,該導(dǎo)電膠13連接該等半導(dǎo)體芯片11周緣,且各該半導(dǎo)體芯片11借由該焊線14以電性連接至該導(dǎo)電膠13,以使各該半導(dǎo)體芯片11與基板10之間能彼此電性連接。
現(xiàn)有封裝件的焊線的弧線高度需控制極為精密,當(dāng)弧線高度太高時(shí),焊線會(huì)碰到下方的半導(dǎo)體芯片而造成產(chǎn)品失效(fail)。然而,該焊線的線弧高度并不易控制,因此需要增加半導(dǎo)體芯片與半導(dǎo)體芯片間的間距,如此則難以降低整體封裝件的厚度,且此封裝件無法測(cè)試焊線與半導(dǎo)體芯片之間的接著狀態(tài),而有礙于良率的提升與成本的降低。
因此,如何避免上述現(xiàn)有技術(shù)中的種種問題,以減低封裝件的厚度,并增進(jìn)整體良率與降低整體成本,實(shí)已成為目前亟欲解決的課題。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的缺失,本發(fā)明的主要目的在于提供一種多芯片堆棧的封裝件及其制法。
本發(fā)明的多芯片堆棧的封裝件包括:基板;多個(gè)具有電極墊的半導(dǎo)體芯片,其交錯(cuò)地堆棧于該基板上,各該半導(dǎo)體芯片突出于鄰接的該半導(dǎo)體芯片,各該半導(dǎo)體芯片上接置有對(duì)應(yīng)電性連接該電極墊的導(dǎo)接端,該導(dǎo)接端的一端則突出于各該半導(dǎo)體芯片的一側(cè)邊;以及用以電性連接該基板及該導(dǎo)接端的導(dǎo)電組件。
本發(fā)明提供另一種多芯片堆棧的封裝件,其包括:基板;多個(gè)具有電極墊的半導(dǎo)體芯片,其堆棧于該基板上,各該半導(dǎo)體芯片上接置有對(duì)應(yīng)電性連接該電極墊的導(dǎo)接端,該導(dǎo)接端的一端突出于各該半導(dǎo)體芯片的一側(cè)邊,且該等半導(dǎo)體芯片間還設(shè)有導(dǎo)線架本體部;以及導(dǎo)電組件,其用以電性連接該基板及該導(dǎo)接端。
本發(fā)明還提供一種多芯片堆棧的封裝件的制法,其包括:于一基板上交錯(cuò)地堆棧多個(gè)具有電極墊的半導(dǎo)體芯片,各該半導(dǎo)體芯片突出于鄰接的該半導(dǎo)體芯片,各該半導(dǎo)體芯片上接置有對(duì)應(yīng)電性連接該電極墊的導(dǎo)接端,且該導(dǎo)接端的一端突出于各該半導(dǎo)體芯片的一側(cè)邊;以及以多個(gè)導(dǎo)電組件電性連接該基板及該導(dǎo)接端。
本發(fā)明又提供一種多芯片堆棧的封裝件的制法,其包括:提供一具有多個(gè)半導(dǎo)體芯片的基材,各該半導(dǎo)體芯片具有電極墊;設(shè)置線路于該電極墊上,且各該線路用于將一該半導(dǎo)體芯片的電極墊電性連接至一相鄰的半導(dǎo)體芯片的電極墊;切割該基材,以分離各該半導(dǎo)體芯片;切割該線路,以使各該半導(dǎo)體芯片之間分離,且該線路的一端突出于該半導(dǎo)體芯片的一側(cè)邊;于一基板上堆棧該等半導(dǎo)體芯片;以及以多個(gè)導(dǎo)電組件電性連接該基板及該線路。
由上可知,因?yàn)楸景l(fā)明的多芯片堆棧的封裝件是借由導(dǎo)線架以做為各半導(dǎo)體芯片的電性連接組件,所以可有效控制各該半導(dǎo)體芯片之間的間距至最小高度;此外,本發(fā)明的封裝件為交錯(cuò)偏移地堆棧,因此可避免各該半導(dǎo)體芯片之間的短路問題;而且,半導(dǎo)體芯片不需制作線路重布層或進(jìn)行打線工藝,只需貼合導(dǎo)線架,再者本發(fā)明可在制作過程中測(cè)試電極墊與其上的導(dǎo)接端的結(jié)合狀態(tài),故整體成本較低且良率較高。
附圖說明
圖1為現(xiàn)有的層疊式半導(dǎo)體封裝件的剖視圖。
圖2A至圖2E為本發(fā)明的多芯片垂直堆棧的封裝件及其制法的第一實(shí)施例的剖視圖,其中,圖2C’與圖2D’分別為圖2C與圖2D的俯視圖,圖2E’為圖2E的另一實(shí)施方法。
圖3A至圖3C為本發(fā)明的多芯片垂直堆棧的封裝件及其制法的第二實(shí)施例的俯視圖。
圖4A至圖4C為本發(fā)明的多芯片垂直堆棧的封裝件及其制法的第三實(shí)施例的俯視圖。
圖5為本發(fā)明的多芯片垂直堆棧的封裝件的第四實(shí)施例的俯視圖。
圖6A至圖6I為本發(fā)明的多芯片垂直堆棧的封裝件及其制法的第五實(shí)施例的剖視圖。
圖7A至圖7K為本發(fā)明的多芯片垂直堆棧的封裝件及其制法的第六實(shí)施例的剖視圖。
主要組件符號(hào)說明
10,30,64,76????????基板
11,21’,63’,70’??半導(dǎo)體芯片
111???????????????????焊墊
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- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L25-00 由多個(gè)單個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)器件組成的組裝件
H01L25-03 .所有包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中同一小組內(nèi)的相同類型的器件,例如整流二極管的組裝件
H01L25-16 .包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中兩個(gè)或多個(gè)不同大組內(nèi)的類型的器件,例如構(gòu)成混合電路的
H01L25-18 .包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中兩個(gè)或多個(gè)同一大組的不同小組內(nèi)的類型的器件
H01L25-04 ..不具有單獨(dú)容器的器件
H01L25-10 ..具有單獨(dú)容器的器件





