[發(fā)明專利]壓電振動片的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210040479.2
• 申請日: 2012-02-14
• 公開（公告）號: CN102638236A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 色川大城
• 申請（專利權(quán)）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/19
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓電振動片的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。

背景技術(shù)

近年來，在便攜電話或便攜信息終端設(shè)備上采用具有壓電振動片的壓電振動器，該壓電振動片利用水晶(石英)等作為時刻源、控制信號的定時源、參考信號源等。作為這種壓電振動片，具備由壓電材料構(gòu)成的壓電板和被施加電壓時使壓電板振動的電極部。在此，利用由壓電材料的水晶構(gòu)成的圓片一次制造多個壓電振動片。

更具體地說，首先從保護膜上開始對圓片(wafer)的表面和背面涂敷抗蝕劑膜，在該抗蝕劑膜上配置用于形成壓電板的外形形狀的掩模。接著，隔著該掩模對抗蝕劑膜照射紫外線，在抗蝕劑膜曝光蝕刻圖案(抗蝕劑圖案)。在取下掩模后，將抗蝕劑膜顯影從而除去曝光部分，其后進行金屬蝕刻而從曝光部分除去露出的保護膜。而且，除去抗蝕劑膜，并且進行水晶蝕刻而對從保護膜的除去部分露出的圓片進行蝕刻，其后除去保護膜，從而形成壓電板的外形形狀。

接著，將電極材料對形成有壓電板的外形形狀的圓片蒸鍍、濺鍍等，從而形成電極膜，在其上形成抗蝕劑膜。然后，在該抗蝕劑膜上配置所希望的電極以及形成有布線圖案的掩模，照射紫外線而將蝕刻圖案(抗蝕劑圖案)在抗蝕劑膜上曝光。然后，將抗蝕劑膜顯影而除去曝光部分，使電極膜的表面露出，且蝕刻其露出面而使圓片的表面露出，從而將電極膜極化，得到希望的電極及布線。

在此，配置在圓片的表面和背面的掩模，邊目視確認邊進行對位，以使各自形成的蝕刻圖案完全重疊。此時，各掩模的蝕刻圖案完全相同，因此在兩掩模間容易產(chǎn)生錯位。為此，公開了在各掩模形成多個相同形狀的對準(zhǔn)標(biāo)記，通過使彼此的對準(zhǔn)標(biāo)記對位來防止各掩模間的錯位的技術(shù)(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2003-186210號公報

可是想要利用對準(zhǔn)標(biāo)記來防止掩模的錯位時，對準(zhǔn)標(biāo)記的大小對于對位的操作性、對位的精度產(chǎn)生影響。

即，當(dāng)對準(zhǔn)標(biāo)記較大時，相應(yīng)地操作者容易確定對準(zhǔn)標(biāo)記，提高對位的操作性，但會降低對位精度。另一方面，當(dāng)對準(zhǔn)標(biāo)記較小時，相應(yīng)地能提高對位精度，但操作音會難以確定對準(zhǔn)標(biāo)記，對位的操作性會降低。

此外，這在壓電板上形成電極時所利用的掩模的對位也同樣。即，即便在圓片和用于形成電極的掩模上分別形成對準(zhǔn)標(biāo)記，也會隨著該對準(zhǔn)標(biāo)記的大小而對位的操作性下降，或者對位精度惡化。

發(fā)明內(nèi)容

于是，本發(fā)明鑒于上述情況而構(gòu)思，提供一種能夠提高掩模對位的操作性、并提高對位的精度、容易且高精度地形成壓電板、電極的壓電振動片的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。

為了解決上述課題，本發(fā)明的壓電振動片的制造方法，其中壓電振動片具備壓電板、和當(dāng)被施加電壓時使所述壓電板振動的電極部，所述制造方法的特征在于，包括：外形形成工序，在對由壓電材料構(gòu)成的圓片的兩面涂敷壓電板形成用掩模材料之后，配置為形成所述壓電板而準(zhǔn)備的一對外形掩模，其后，隔著這些外形掩模照射光以形成所述壓電板的外形；以及抗蝕劑圖案形成工序，在對形成有所述壓電板的外形形狀的所述圓片涂敷電極膜掩模材料之后，配置為電極膜而準(zhǔn)備的電極膜用掩模，然后，隔著所述電極膜用掩模照射光以形成抗蝕劑圖案，所述抗蝕劑圖案形成工序包括：電極標(biāo)記組檢測工序，檢測形成在所述圓片的圓片側(cè)標(biāo)記組(群)、和形成在所述電極膜用掩模的電極掩模側(cè)標(biāo)記組；以及電極掩模配置工序，使所述圓片側(cè)標(biāo)記組與所述電極掩模側(cè)標(biāo)記組對位，并對所述圓片配置所述電極膜用掩模，所述圓片側(cè)標(biāo)記組由大小彼此不同的至少2個圓片側(cè)標(biāo)記構(gòu)成，所述電極掩模側(cè)標(biāo)記組由大小彼此不同的至少2個電極掩模側(cè)標(biāo)記構(gòu)成，將各自最小的圓片側(cè)標(biāo)記及電極掩模側(cè)標(biāo)記用作為彼此的標(biāo)記對位，將最小的圓片側(cè)標(biāo)記、除電極掩模側(cè)標(biāo)記以外的所有圓片側(cè)標(biāo)記、以及電極掩模側(cè)標(biāo)記，用于所述電極標(biāo)記組檢測工序。

通過這樣的方法，從最大的圓片側(cè)標(biāo)記以及最大的電極掩模側(cè)標(biāo)記依次確定，能夠?qū)⒆钚〉膱A片側(cè)標(biāo)記以及最小的電極掩模側(cè)標(biāo)記迅速確定。此外，利用最小的圓片側(cè)標(biāo)記以及最小的電極掩模側(cè)標(biāo)記進行各掩模的對位，從而能夠高精度地進行該對位。因此，能夠容易且高精度進行抗蝕劑圖案形成工序。

本發(fā)明的壓電振動片的制造方法，其特征在于，各圓片側(cè)標(biāo)記以及各電極掩模側(cè)標(biāo)記分別以既定的排列圖案配置。

通過這樣的方法，在確定最大的圓片側(cè)標(biāo)記以及最大的電極掩模側(cè)標(biāo)記的時刻，能夠容易預(yù)測最小的圓片側(cè)標(biāo)記以及最小的電極掩模側(cè)標(biāo)記的位置，因此能夠進一步提高在確定最大的圓片側(cè)標(biāo)記以及最大的電極掩模側(cè)標(biāo)記之后確定最小的圓片側(cè)標(biāo)記以及最小的電極掩模側(cè)標(biāo)記為止的操作效率。