[發明專利]壓電振動片的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設備及電波鐘

無效

• 申請號: 201210040479.2
• 申請日: 2012-02-14
• 公開（公告）號: CN102638236A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 色川大城
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/19
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

1.一種壓電振動片的制造方法，其中壓電振動片具備壓電板、和當被施加電壓時使所述壓電板振動的電極部，所述制造方法的特征在于，包括：

外形形成工序，在對由壓電材料構成的圓片的兩面涂敷壓電板形成用掩模材料之后，配置為形成所述壓電板而準備的一對外形掩模，其后，隔著這些外形掩模照射光以形成所述壓電板的外形；以及

抗蝕劑圖案形成工序，在對形成有所述壓電板的外形形狀的所述圓片涂敷電極膜掩模材料之后，配置為電極膜而準備的電極膜用掩模，然后，隔著所述電極膜用掩模照射光以形成抗蝕劑圖案，

所述抗蝕劑圖案形成工序包括：

電極標記組檢測工序，檢測形成在所述圓片的圓片側標記組、和形成在所述電極膜用掩模的電極掩模側標記組；以及

電極掩模配置工序，使所述圓片側標記組與所述電極掩模側標記組對位，并對所述圓片配置所述電極膜用掩模，

所述圓片側標記組由大小彼此不同的至少2個圓片側標記構成，

所述電極掩模側標記組由大小彼此不同的至少2個電極掩模側標記構成，

將各自最小的圓片側標記及電極掩模側標記用作為彼此的標記對位，將最小的圓片側標記、除電極掩模側標記以外的所有圓片側標記、以及電極掩模側標記，用于所述電極標記組檢測工序。

2.根據權利要求1所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，

各圓片側標記以及各電極掩模側標記分別以既定的排列圖案配置。

3.根據權利要求2所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，

各圓片側標記在最大的圓片側標記的形成范圍內，配置有其它圓片側標記，并且

各電極掩模側標記在最大的電極掩模側標記的形成范圍內，配置有其它電極掩模側標記。

4.一種壓電振動片的制造方法，其中壓電振動片具備壓電板、和當被施加電壓時使所述壓電板振動的電極部，所述制造方法的特征在于，包括：

外形形成工序，在由壓電材料構成的圓片的兩面涂敷壓電板形成用掩模材料后，配置為形成所述壓電板而準備的一對外形掩模，然后，隔著這些外形掩模照射光以形成所述壓電板的外形；以及

抗蝕劑圖案形成工序，在形成有所述壓電板的外形形狀的所述圓片涂敷電極膜掩模材料后，配置為電極膜而準備的電極膜用掩模，然后，隔著所述電極膜用掩模照射光以形成抗蝕劑圖案，

所述外形形成工序包括：

外形標記組檢測工序，檢測形成在各外形掩模的外形掩模側標記組；以及

外形掩模配置工序，使各外形掩模的外形掩模側標記組的位置對齊并在所述圓片配置各外形掩模，

所述外形掩模側標記組由彼此大小不同的至少2個外形掩模側標記構成，

將形成在各外形掩模的最小的外形掩模側標記用作為彼此的標記對位，將除最小的外形掩模側標記以外的所有外形掩模側標記，利用到所述外形標記組檢測工序中。

5.根據權利要求4所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，各外形掩模側標記分別以既定的排列圖案配置。

6.根據權利要求5所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，各外形掩模側標記在最大的外形掩模側標記的形成范圍內，配置有其它外形掩模側標記。