[發明專利]一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法

有效

• 申請號: 201210038873.2
• 申請日: 2012-02-21
• 公開（公告）號: CN102534519A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 鄧自南;淡新國;郭讓民;侯軍濤;李明強;郭磊;丁旭;張清;李輝;呂利強;馬宏旺
• 申請（專利權）人: 西安瑞福萊鎢鉬有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22F1/18
• 代理公司: 西安創知專利事務所 61213
• 代理人: 譚文琰

技術領域

本發明屬于濺射靶材用鉬板制備技術領域，具體涉及一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法。

背景技術

厚度14mm～18mm，寬度1000mm～1800mm，長度1300mm～2200mm的大尺寸鉬板可用于加工4.5代線～6代線LCD平板顯示器濺射靶材。此類鉬板技術要求較高，其中密度要求不小于10.15g/cm³，顯微組織要求為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸不超過200μm，板面要求平整。常規小尺寸鉬板的軋制方法為氫氣保護加熱，直接軋制。但大尺寸鉬板所需坯料重量較大，常規氫氣爐無法進行加熱；另一方面由于坯料重量和成品尺寸較大，按公知的軋制方法所需軋制力較大，常規鎢鉬軋機無法進行軋制；而寬幅軋機輥道較長，若直接加熱軋制，鉬坯降溫嚴重，勢必導致軋制開裂。對大規格鉬坯料而言，按公知的軋制工藝，無法保證軋制鉬板成品熱處理后得到均勻的等軸晶組織。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于針對上述現有技術的不足，提供一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法。該方法采用涂刷抗氧化涂層和鋼包套包覆的方式，解決了加熱和軋制過程中的氧化問題，出爐和軋制過程中坯料溫降嚴重的問題，同時降低鉬板軋制力，保證了軋制順利進行；軋制過程中通過控制第一火次軋制的總加工率為50％～60％，并在第一火次軋制完畢后將軋件置于冷床上進行快速冷卻，可防止熱軋開坯后顯微組織的不均勻長大和再結晶，得到變形均勻的加工組織，最終制備的鉬板具有尺寸均勻的等軸晶組織。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、在常規方法壓制和燒結的尺寸為55mm～130mm×600mm～800mm×800mm～1000mm的鉬板坯表面均勻涂刷抗氧化涂層；所述抗氧化涂層為玻璃粉、有機粘結劑和水按照8～10∶1∶8～10的質量比混合而成的漿料；所述有機粘結劑為水玻璃；

步驟二、將步驟一中涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用厚度為10mm～20mm的鋼包套包覆；

步驟三、將步驟二中包覆有鋼包套的鉬板坯加熱至1300℃～1400℃后進行一火次的軋制，然后將軋制后的鉬板坯置于冷床上冷卻；所述軋制的道次加工率為15％～30％，軋制總加工率為50％～60％；

步驟四、將步驟三中冷卻后的鉬板坯加熱至900℃～1050℃，然后將加熱后的鉬板坯軋制至厚度為19mm～24mm(含鋼包套)；所述軋制的道次加工率為10％～25％；

步驟五、將步驟四中經軋制的鉬板坯加熱至850℃～950℃后進行校平處理，然后去除鉬板坯的鋼包套，對去除鋼包套的鉬板坯進行切割，得到厚度為14mm～18mm，寬度為1000mm～1800mm，長度為1300mm～2200mm的半成品鉬板；

步驟六、將步驟五中所述半成品鉬板在溫度為1100℃～1400℃的條件下進行真空熱處理，得到厚度為14mm～18mm，寬度為1000mm～1800mm，長度為1300mm～2200mm的LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。

上述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟一中所述玻璃粉由以下重量百分比成分組成：75％二氧化硅，20％三氧化二硼，2％三氧化二鋁，2％氧化鋅，余量為氧化鉀。

上述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟一中所述抗氧化涂層的涂刷厚度為1.5mm～2.5mm。

上述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟二中所述鋼包套的材質為Q235鋼板或45#鋼板。

上述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟六中所述真空熱處理的處理時間為2h～4h。

本發明與現有技術相比具有以下優點：

1、本發明采用涂刷抗氧化涂層和鋼包套包覆的方式，解決了加熱和軋制過程中的氧化問題；解決了出爐和軋制過程中坯料溫降嚴重的問題；采用包套軋制可降低鉬板軋制力，保證了軋制順利進行。

2、本發明通過控制第一火次軋制的總加工率為50％～60％，并在第一火次軋制完畢后將軋件置于冷床上進行快速冷卻，可防止熱軋開坯后顯微組織的不均勻長大和再結晶，得到變形均勻的加工組織，最終制備的鉬板具有尺寸均勻的等軸晶組織。

3、采用本發明的方法制備的LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板板面平整，密度不小于10.15g/cm³，顯微組織為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸不大于200lam。