[發明專利]一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法

有效

• 申請號: 201210038873.2
• 申請日: 2012-02-21
• 公開（公告）號: CN102534519A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 鄧自南;淡新國;郭讓民;侯軍濤;李明強;郭磊;丁旭;張清;李輝;呂利強;馬宏旺
• 申請（專利權）人: 西安瑞福萊鎢鉬有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22F1/18
• 代理公司: 西安創知專利事務所 61213
• 代理人: 譚文琰

1.一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、在常規方法壓制和燒結的尺寸為55mm～130mm×600mm～800mm×800mm～1000mm的鉬板坯表面均勻涂刷抗氧化涂層；所述抗氧化涂層為玻璃粉、有機粘結劑和水按照8～10∶1∶8～10的質量比混合而成的漿料；所述有機粘結劑為水玻璃；

步驟二、將步驟一中涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用厚度為10mm～20mm的鋼包套包覆；

步驟三、將步驟二中包覆有鋼包套的鉬板坯加熱至1300℃～1400℃后進行一火次的軋制，然后將軋制后的鉬板坯置于冷床上冷卻；所述軋制的道次加工率為15％～30％，軋制總加工率為50％～60％；

步驟四、將步驟三中冷卻后的鉬板坯加熱至900℃～1050℃，然后將加熱后的鉬板坯軋制至厚度為19mm～24mm；所述軋制的道次加工率為10％～25％；

步驟五、將步驟四中經軋制的鉬板坯加熱至850℃～950℃后進行校平處理，然后去除鉬板坯的鋼包套，對去除鋼包套的鉬板坯進行切割，得到厚度為14mm～18mm，寬度為1000mm～1800mm，長度為1300mm～2200mm的半成品鉬板；

步驟六、將步驟五中所述半成品鉬板在溫度為1100℃～1400℃的條件下進行真空熱處理，得到厚度為14mm～18mm，寬度為1000mm～1800mm，長度為1300mm～2200mm的LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。

2.根據權利要求1所述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，步驟一中所述玻璃粉由以下重量百分比成分組成：75％二氧化硅，20％三氧化二硼，2％三氧化二鋁，2％氧化鋅，余量為氧化鉀。

3.根據權利要求1所述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，步驟一中所述抗氧化涂層的涂刷厚度為1.5mm～2.5mm。

4.根據權利要求1所述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，步驟二中所述鋼包套的材質為Q235鋼板或45#鋼板。

5.根據權利要求1所述的一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，步驟六中所述真空熱處理的處理時間為2h～4h。