[發明專利]涂敷裝置

無效

• 申請號: 201210037512.6
• 申請日: 2012-02-16
• 公開（公告）號: CN102646753A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發明（設計）人: 宮本英典
• 申請（專利權）人: 東京應化工業株式會社
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;B05D1/02;B05D3/00;B05D3/10;B05D7/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

技術領域

本發明涉及一種涂敷裝置。

本申請基于2011年2月18日在日本申請的特愿2011-033369號要求優先權，將其內容援用于此。

背景技術

使用了含有Cu、Ge、Sn、Pb、Sb、Bi、Ga、In、Ti、Zn及它們的組合等的金屬與S、Se、Te及它們的組合等的硫族元素在內的半導體材料的CIGS型太陽能電池或CZTS型太陽能電池，作為一種具有高轉換效率的太陽能電池正受到注目(例如參照專利文獻1～專利文獻3)。CIGS型太陽能電池是一種使用例如由上述Cu、In、Ga、Se這四種半導體材料形成的膜來作為光吸收層(光電轉換層)的結構。另外，CZTS型太陽能電池是一種使用例如由Cu、Zn、Sn、Se這四種半導體材料形成的膜來作為光吸收層(光電轉換層)的結構。作為這種太陽能電池的結構，例如公知一種在由玻璃等構成的基板上設置由鉬等形成的背面電極，在所述背面電極的上面配置上述光吸收層的結構。

CIGS型太陽能電池或CZTS型太陽能電池與現有類型的太陽能電池相比，由于可以減薄光吸收層的厚度，因此，容易向曲面設置或搬運。因此，作為高性能且柔性的太陽能電池，期待向寬廣領域的應用。作為形成光吸收層的方法，目前，公知一種例如使用蒸鍍法或濺射法等來形成的方法(例如，參照專利文獻2～專利文獻5)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平11-340482號公報

專利文獻2：日本特開2005-51224號公報

專利文獻3：日本特表2009-537997號公報

專利文獻4：日本特開平1-231313號公報

專利文獻5：日本特開平11-273783號公報

相對于此，作為形成光吸收層的方法，本發明人提出一種將上述半導體材料以液狀體涂敷在基板上的方法。在通過液狀體的涂敷形成光吸收層的情況下，存在以下問題。

當在背面電極(例如鉬膜)的表面例如形成金屬氧化膜等時，液狀體在金屬氧化膜的表面彈起，有時無法將涂敷膜均勻形成在基板上。因此，為了將涂敷膜均勻形成在基板上，在液狀體涂敷前對襯底基板進行除去氧化膜的前處理是有效的。但是，在將通過前處理除去氧化膜的基板搬運到涂敷位置時，由于搬送路徑的環境氣體，有時在搬送中會再次將基板的表面氧化。對于這一問題，不限于將基板上的背面電極的氧化膜除去的前處理，可以想象在進行其他前處理時也存在。

發明內容

鑒于上述情況，本發明的目的在于提供一種在對基板的前處理后直到涂敷的期間，可以抑制基板的表面的狀態變化的涂敷裝置及涂敷方法。

本發明的涂敷裝置具備：涂敷部，其對基板涂敷含有易氧化性的金屬的液狀體；

前處理部，其對涂敷所述液狀體之前的所述基板進行前處理；以及連接部，其具有連接空間，該連接空間對由所述涂敷部涂敷所述液狀體的涂敷空間與由所述前處理部進行所述前處理的前處理空間進行連接，所述連接部被設置成可進行調整，使得所述連接空間的氣體環境成為惰性氣體的氣體環境。

根據本發明，由于是具備連結部的結構，其中，連接部具有連接空間，該連接空間對由涂敷部涂敷液狀體的涂敷空間與由前處理部進行前處理的前處理空間進行連接，所述連接部被設置成可進行調整，使得連接空間的氣體環境成為惰性氣體的氣體環境，因此，可將從前處理空間到涂敷空間的連接空間形成為惰性氣體的氣體環境。由此，在對基板進行前處理后到涂敷的期間，可抑制基板的表面的狀態變化。

上述的涂敷裝置的特征在于，還具備向所述連接空間供給所述惰性氣體的第一供給部。

根據本發明，由于還具備向連接空間供給惰性氣體的第一供給部，因此可向連接空間直接供給惰性氣體。由此，可使連接空間有效地形成為惰性氣體的氣體環境。

上述的涂敷裝置的特征在于，還具備向所述前處理空間供給所述惰性氣體的第二供給部。

根據本發明，由于還具備向前處理空間供給惰性氣體的第二供給部，因此可通過前處理空間向連接空間供給惰性氣體。此時，由于對于前處理空間也可以形成為惰性氣體的氣體環境，因此在前處理空間及連接空間可使惰性氣體的環境氣體連續。

上述的涂敷裝置的特征在于，還具備向所述涂敷空間供給所述惰性氣體的第三供給部。

根據本發明，由于還具備向涂敷空間供給惰性氣體的第三供給部，因此可通過涂敷空間向連接空間供給惰性氣體。此時，對于涂敷空間由于也可成為惰性氣體的氣體環境，因此在連接空間及涂敷空間中也可使惰性氣體的氣體環境連續。