[發明專利]光源單元的排風系統及光刻機

無效

• 申請號: 201210030413.5
• 申請日: 2012-02-10
• 公開（公告）號: CN102540764A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 陳艷艷;王劍鋒;王琳
• 申請（專利權）人: 上海先進半導體制造股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;F21V29/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種光源單元的排風系統及光刻機。

背景技術

目前，在制造半導體器件、平板顯示器等裝置時，通常采用光刻機對基板進行構圖。光刻制程主要包括在基板上涂敷光刻膠步驟、對涂敷在基板上的光刻膠進行曝光步驟以及對曝光的基板進行顯影步驟。

請參閱圖1，圖1所示是現有的光刻機的結構示意圖，其主要包括光源單元101、光路傳輸系統102與曝光系統103，所述光源單元101發出的光經所述光路傳輸系統102傳遞到曝光系統103，所述光源單元101與所述曝光系統設置于地板106上，該光源單元101會采用汞燈。由于汞燈在工作時會產生非常大的熱量，所以需要對光源單元101配置一個排風系統以將光源單元101產生的熱量及時排除。

由圖1可知，現有的曝光系統的排風系統包括一排風管104，所述排風管104的一端接所述光源單元101，另一端外接廠務排風單元105。該曝光系統的排風系統直接通過排風管104將廠務排風單元105接到光源單元101，熱量由排風管104排出光源單元101。但由于各種原因廠務排風單元105供給的排風不穩定且小于標準值，經常引發光源單元101非正常滅燈，造成光刻機宕機(即停機)，嚴重影響生產效率。

因此，如何提供一種可以實現對光源單元的穩定、有效排風的光源單元的排風系統及光刻機是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光源單元的排風系統及光刻機，通過在排風管上增設鼓風機，實現對光源單元的穩定、有效排風，避免光源單元由于熱量不能及時排出而出現非正常滅燈，防止光刻機出現停機現象。

為了達到上述的目的，本發明采用如下技術方案：

一種光源單元的排風系統，包括排風管，所述排風管一端連接所述光源單元，另一端外接廠務排風單元，所述光源單元的排風系統還包括一鼓風機，所述鼓風機設置于所述排風管上。

優選的，在上述的光源單元的排風系統中，所述鼓風機為低壓鼓風機，壓力范圍是100pa～200pa。

優選的，在上述的光源單元的排風系統中，還包括一閥門，所述閥門設置于所述排風管上。

優選的，在上述的光源單元的排風系統中，所述鼓風機與光源單元的距離是0.5-2米。

本發明還公開了一種光刻機，包括光源單元、光路傳輸系統、曝光系統與光源單元的排風系統，所述光源單元發出的光經所述光路傳輸系統傳遞到所述曝光系統，所述光源單元的排風系統包括排風管和鼓風機，所述排風管一端連接所述光源單元，另一端外接廠務排風單元，所述鼓風機設置于所述排風管上。

優選的，在上述的光刻機中，所述光源單元采用汞燈單元。

優選的，在上述的光刻機中，所述鼓風機為低壓鼓風機，壓力范圍是100pa～200pa。

優選的，在上述的光刻機中，所述光刻機為步進光刻機。

優選的，在上述的光刻機中，還包括一閥門，所述閥門設置于所述排風管上。

優選的，在上述的光刻機中，所述鼓風機與光源單元的距離是0.5-2米。

本發明提供的光源單元的排風系統及光刻機，通過在排風管上增設鼓風機，可以實現對光源單元的穩定、有效排風，避免光源單元由于熱量不能及時排出而出現非正常滅燈，可以起到保護光源單元的作用，有效延長光源單元的使用壽命，同時，也可以避免因光源單元非正常滅燈引發的光刻機停機現象，從而，有效保護光刻機，且有效提高了生產效率。

附圖說明

本發明的光源單元的排風系統及光刻機由以下的實施例及附圖給出。

圖1是現有的光刻機的結構示意圖；

圖2是本發明一實施例的光源單元的排風系統的結構示意圖；

圖3是本發明一實施例的光刻機的結構示意圖。

圖中，101、201-光源單元，102、202-光路傳輸系統、103、203-曝光系統，104、204-排風管，105、205-廠務排風單元、106、206-地板、207-鼓風機。

具體實施方式

以下對本發明的光源單元的排風系統及光刻機作進一步的詳細描述。

下面將參照附圖對本發明進行更詳細的描述，其中表示了本發明的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本發明而仍然實現本發明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本發明的限制。