[發明專利]一種便攜式檢漏儀校準系統及方法

有效

• 申請號: 201210024834.7
• 申請日: 2012-02-06
• 公開（公告）號: CN102589809A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 盧耀文
• 申請（專利權）人: 江蘇東方航天校準檢測有限公司
• 主分類號: G01M3/00
• 分類號: G01M3/00;G01M3/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種便攜式檢漏儀校準系統及方法，具體涉及一種用于用于檢漏儀的實驗室、現場和在線校準、測試系統及方法，屬于測量技術領域。

背景技術

泄漏檢測技術在航天、表面、微電子、太陽能、光電子等科研生產中具有重要意義，隨著科技進步與發展，不僅需要對檢漏儀進行精確校準，而且許多應用中需要現場或在線校準測試，這樣使校準條件與使用條件基本相同，不僅提高了泄漏校準的精度，而且避免了因為停止工作系統送往實驗室校準的經濟損失和時間浪費，因此在科研、生產制造中提出了現場或在線檢漏儀校準測試的緊迫需求。

文獻“正壓漏孔校準裝置”，《真空科學與技術學報》第21卷、2001年第1期、第55～59頁”，介紹了正壓漏孔校準方法，系統僅用于校準正壓漏孔，不能提供精確已知的漏率，且復雜龐大、成本昂貴，只適合在實驗室校準用，不能滿足現場檢漏儀的校準需求。

因此，本專利研制的系統具有結構簡單、精度高、重量小、體積小、便攜等特點，用于現場或在線檢漏儀校準測試，系統總重量小于50公斤，總體尺寸小于50mm×30mm×60mm，校準范圍為10^-6～10^-2Pam³/s，合成標準不確定度小于10％，滿足了目前絕大多數領域對檢漏儀吸槍工作模式的現場或在線精確校準需求。

發明內容

本發明的目的是為了克服上述現有技術的缺陷，針對檢漏儀吸槍工作模式的現場校準需求，提出一種便攜式檢漏儀校準系統及方法。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的。

本發明的一種便攜式檢漏儀校準系統，其外部設備為待測檢漏儀，包括：第一閥門1、第二閥門3、第三閥門4、第四閥門6、第五閥門8、第六閥門10、第七閥門11、第八閥門12、第九閥門14、第十閥門15、第十一閥門17、第十二閥門19、第一真空規2、第二真空規18、第三真空規22、1L穩壓室5、分子泵7、機械泵9、1L定容室13、0.1L定容室16、正壓漏孔20和恒溫箱21；

上述第二真空規18和第三真空規22均為電容規，第二閥門3、第六閥門10、第七閥門11、第八閥門12、第九閥門14、第十閥門15、第十一閥門17、第十二閥門19均為球閥，第四閥門6為角閥，第三閥門4為微調閥；

第一閥門1的一端與氣源連接，另一端與第二閥門3、第三閥門4和穩壓室5連接，第二閥門3的另一端與第一真空規2連接，穩壓室5的另一端與第四閥門6連接，分子泵7的抽氣口與第四閥門6、第六閥門10連接，分子泵7的排氣口與第五閥門8連接，第五閥門8的另一端與機械泵9連接，第六閥門10的另一端與第三閥門4的另一端、第七閥門11、第八閥門12、第十閥門15連接，第七閥門11的另一端與第二真空規18、第三真空規22連接，第八閥門12的另一端與1L定容室13的一端相連，1L定容室13的另一端與第九閥門14連接，第十閥門15的另一端與0.1L定容室16的一端相連，0.1L定容室16的另一端第十一閥門17連接，第九閥門14的另一端、第十一閥門17的另一端、第二真空規18的另一端以及第十二閥門19的一端通過四通連接，第十二閥門19的另一端與正壓漏孔20的入口連接，第七閥門11、第八閥門12、第九閥門14、第十閥門15、第十一閥門17、第十二閥門19、第二真空規18、第三真空規22、1L定容室13、0.1L定容室16、正壓漏孔20放置在恒溫箱21中，待測檢漏儀與正壓漏孔20的出口相連；

優選地，其特征在于，系統具有結構簡單、精度高、測量范圍寬、重量小(小于50公斤)、體積小、便攜等特點，可用于現場和實驗室在吸槍工作模式下校準檢漏儀。系統采用高精度差壓式電容薄膜規18(滿量程為100Torr)測量定容室壓力的變化，采用恒溫箱減小了溫度波動對測量精度的影響，通過調節漏孔入口壓力改變來提供已知的泄漏漏率，這樣可實現10^-6～10^-2Pam³/s范圍的校準。

本發明的一種便攜式檢漏儀校準系統對檢漏儀進行現場或實驗室校準的步驟為：

S1、將提供標準漏率的正壓漏孔20安裝在第十二閥門19上，并檢查安裝密封性，將檢漏儀的吸槍對準正壓漏孔20的出口；

S2、依次打開機械泵9、第二閥門3、第三閥門4、第四閥門6、第五閥門8、第六閥門10、第七閥門11、第八閥門12、第九閥門14、第十閥門15、第十一閥門17、第十二閥門19，對穩壓室5及閥門管道抽氣，打開第一真空規2，當第一真空規2測量壓力小于20Pa時，啟動分子泵7，啟動恒溫箱21，打開檢漏儀；