[發(fā)明專利]固態(tài)圖像拾取裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210024578.1
• 申請日: 2012-02-06
• 公開（公告）號: CN102637753A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小林昌弘
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01L31/0352
• 分類號: H01L31/0352;H01L27/146
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 楊小明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及固態(tài)圖像拾取裝置，并且特別涉及固態(tài)圖像拾取裝置的元件隔離結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

日本專利公開No.2009-016810公開了光電轉(zhuǎn)換部分和像素晶體管(有源元件)之間的元件隔離結(jié)構(gòu)。特別地，公開了具有以下特性的元件隔離結(jié)構(gòu)。首先，在導(dǎo)電類型與像素晶體管的源極區(qū)域和漏極區(qū)域相反的半導(dǎo)體區(qū)域中形成元件隔離區(qū)域。第二，在不具有段差(level?differences)的平坦?fàn)顟B(tài)中形成設(shè)置在從像素晶體管的溝道區(qū)域到元件隔離區(qū)域的區(qū)域中的絕緣膜。根據(jù)日本專利公開No.2009-016810，可通過這種元件隔離結(jié)構(gòu)減少由像素晶體管占據(jù)的面積。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明的固態(tài)圖像拾取裝置具有：包含有源區(qū)的半導(dǎo)體基板；第一導(dǎo)電類型的第一半導(dǎo)體區(qū)域；第二導(dǎo)電類型的第二半導(dǎo)體區(qū)域；浮動擴(kuò)散區(qū)域；被設(shè)置在半導(dǎo)體基板上的絕緣體；和通過絕緣體被設(shè)置在半導(dǎo)體基板上并被配置為控制從第一半導(dǎo)體區(qū)域到浮動擴(kuò)散區(qū)域的電荷的傳送的傳送柵電極，其中，第一半導(dǎo)體區(qū)域、第二半導(dǎo)體區(qū)域和浮動擴(kuò)散區(qū)域被設(shè)置在有源區(qū)中，第一半導(dǎo)體區(qū)域的一部分被設(shè)置為與傳送柵電極的一部分重疊，第一半導(dǎo)體區(qū)域的一部分和第二半導(dǎo)體區(qū)域被設(shè)置為在沿半導(dǎo)體基板和絕緣體的界面的方向上相互鄰近，并且，從所述界面到第一半導(dǎo)體區(qū)域的所述一部分的雜質(zhì)濃度峰的位置的距離不同于從所述界面到第二半導(dǎo)體區(qū)域的雜質(zhì)濃度峰的位置的距離。

從參照附圖對示例性實施例進(jìn)行的以下描述，本發(fā)明的其它特征將變得清晰。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的例子1的固態(tài)圖像拾取裝置的平面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是根據(jù)本發(fā)明的例子1的固態(tài)圖像拾取裝置的等價電路圖。

圖3A是根據(jù)本發(fā)明的例子1的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖3B是根據(jù)本發(fā)明的例子1的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖3C是根據(jù)本發(fā)明的例子1的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖4A是示出根據(jù)本發(fā)明的例子1的固態(tài)圖像拾取裝置的雜質(zhì)分布的示圖。

圖4B是示出根據(jù)本發(fā)明的例子1的固態(tài)圖像拾取裝置的雜質(zhì)分布的示圖。

圖5A是根據(jù)本發(fā)明的例子2的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖5B是根據(jù)本發(fā)明的例子2的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖5C是根據(jù)本發(fā)明的例子2的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖6A是示出根據(jù)本發(fā)明的例子2的固態(tài)圖像拾取裝置的雜質(zhì)分布的示圖。

圖6B是示出根據(jù)本發(fā)明的例子2的固態(tài)圖像拾取裝置的雜質(zhì)分布的示圖。

圖7A是根據(jù)本發(fā)明的例子3的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖7B是根據(jù)本發(fā)明的例子3的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖7C是根據(jù)本發(fā)明的例子3的固態(tài)圖像拾取裝置的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖8A是示出根據(jù)本發(fā)明的例子3的固態(tài)圖像拾取裝置的雜質(zhì)分布的示圖。

圖8B是示出根據(jù)本發(fā)明的例子3的固態(tài)圖像拾取裝置的雜質(zhì)分布的示圖。

圖9是根據(jù)本發(fā)明的例子4的固態(tài)圖像拾取裝置的平面結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖10是根據(jù)本發(fā)明的例子4的固態(tài)圖像拾取裝置的等價電路圖

圖11是根據(jù)本發(fā)明的例子5的固態(tài)圖像拾取裝置的平面結(jié)構(gòu)的示意圖。

具體實施方式