[發明專利]晶圓盒

有效

• 申請號: 201210024413.4
• 申請日: 2012-02-03
• 公開（公告）號: CN102629564A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 李康聲;千俊煥
• 申請（專利權）人: 象牙弗隆泰克株式會社
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;楊文娟

1.一種晶圓盒，包括一對端板和多根輕量支承桿，一對端板設置既定間隔，相向配置，多根輕量支承桿兩端固定于上述端板，相互平行配置，用于支承晶圓的側面及底面，其特征在于，上述輕量支承桿包括：至少在一處以上形成了加強槽的非金屬材質的心材、壓入上述加強槽的加強構件、嵌件注塑包裹住上述心材表面的非金屬材質的表材；在上述心材的兩端，結合著在外周面形成有螺紋的無頭螺桿，在上述端板的與上述無頭螺桿對應的部位，使與上述無頭螺桿連結的連結螺母埋入端板厚度內進行設置。

2.根據權利要求1所述的晶圓盒，其特征在于：

上述加強槽配置于心材的長度方向中心部。

3.根據權利要求1或2所述的晶圓盒，其特征在于：

上述加強槽沿與上述心材長度方向垂直的方向配置于心材兩側。

4.根據權利要求1所述的晶圓盒，其特征在于：

上述心材及加強構件為碳纖維增強塑料(Carbonfiber?Reinforced?plastics)。

5.根據權利要求1所述的晶圓盒，其特征在于：

在上述心材的兩端，形成外徑比其他部位小的小徑部，在上述無頭螺桿上形成供上述小徑部插入的插入槽，上述無頭螺桿的一部分埋入設置于上述表材內。

6.根據權利要求1所述的晶圓盒，其特征在于：

在上述表材的兩側端面上形成防止旋轉凸起，在上述端板的與防止旋轉凸起對應的部位，形成供上述防止旋轉凸起插入的防止旋轉槽。

7.根據權利要求1所述的晶圓盒，其特征在于：

在上述端板的上部一側，能旋轉地設置用于防止上述晶圓脫離的鎖銷。

8.根據權利要求7所述的晶圓盒，其特征在于：

上述鎖銷包括能旋轉地貫通設置于上述各端板上部一側的旋轉軸、連接于上述旋轉軸的連接桿、沿晶圓盒長度方向連接于上述連接桿末端的銷桿，在上述端板的上端，形成在上述銷桿鎖定時用于固定銷桿的第1固定槽，在端板的一側端，形成在上述銷桿解除鎖定時用于固定銷桿的第2固定槽。

9.根據權利要求8所述的晶圓盒，其特征在于：

在上述第1固定槽的內面上，形成至少一個以上的用于防止插入第1固定槽的銷桿脫離的固定凸起。