[發明專利]一種太陽能電池晶片的加工方法

無效

• 申請號: 201210021534.3
• 申請日: 2012-01-08
• 公開（公告）號: CN102544225A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 陳一鳴
• 申請（專利權）人: 溫州索樂新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及加工生產領域中的一種晶片的加工方法，特別涉及一種太陽能電池晶片的加工方法。

背景技術

考慮太陽能電池晶片的質量優劣，主要考慮如下幾個因素：脫水性能、是否存在水痕水紋和粘片；甩干后是否帶水及甩干機是否碎片；刻蝕后片子的溫度、邊緣及整體亮度和刻蝕寬度；氣孔是否均勻及片內色差；印刷圖形的質量等，現有太陽能電池晶片的加工方法在這些方面做得不夠，如存在色差、晶片內有氣泡或刻蝕寬度不一等。

發明內容

針對現有太陽能電池晶片加工方法的缺陷，本發明提供了一種太陽能電池晶片的加工方法。

為了實現上述目的，本發明所采取的措施是：

一種太陽能電池晶片的加工方法，加工方法依次包括以下步驟：清洗、甩干、擴散、刻蝕、去PSG、復甩干、PECVD、絲網印刷、高溫燒結、成品分選和打包；

所述清洗步驟中，依次包括以下步驟：預清洗、漂洗、制絨、連續漂洗、酸洗、漂洗、去氧化層、漂洗和噴淋；

所述甩干和復甩干步驟中采用的甩干機的溫度為140℃，轉速為300，噴氮時間為300秒；

所述擴散步驟中，依次包括以下步驟：放舟、連續升溫、恒溫、連續擴散、深擴散、降溫與氧鈍化和取舟；

所述刻蝕步驟中，依次包括以下步驟：預抽、主抽、送氣、恒壓、輝光、清洗和充氣；

所述去PSG步驟中，依次包括以下步驟：酸洗、連續漂洗和噴淋；

所述PECVD步驟中，依次包括以下步驟：開始、充氮、取舟、放舟、慢抽、主抽、恒溫、恒壓、預淀積、恒壓、淀積、抽空、抽空、充氮抽空和結束；

所述絲網印刷及燒結步驟中，依次包括以下步驟：背電極的印刷、上漿和烘干，背電場的印刷、上漿和烘干，正電極的印刷、上漿和烘干，燒結；

所述成品分選步驟中，依次包括以下步驟：測試電池片功率、進行分類、分選色差、數量和打包。

本發明的有益效果：產品不存在水痕水紋和粘片，刻蝕后片子的溫度合適，邊緣及整體亮度和刻蝕寬度適中，片內無色差，印刷圖形的質量好。

附圖說明

圖1、本發明的加工工藝流程方框圖。

具體實施方式

一種太陽能電池晶片的加工方法，加工方法依次包括以下步驟：清洗、甩干、擴散、刻蝕、去PSG(磷硅玻璃)、復甩干、PECVD(等離子體增強化學氣相沉積法)、絲網印刷、高溫燒結、成品分選和打包；

所述清洗步驟中，依次包括以下步驟：預清洗、漂洗、制絨、連續漂洗、酸洗、漂洗、去氧化層、漂洗和噴淋，具體操作數據如下表：