[發明專利]一種太陽能電池晶片的加工方法

無效

• 申請號: 201210021534.3
• 申請日: 2012-01-08
• 公開（公告）號: CN102544225A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 陳一鳴
• 申請（專利權）人: 溫州索樂新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，加工方法依次包括以下步驟：清洗、甩干、擴散、刻蝕、去PSG、復甩干、PECVD、絲網印刷、高溫燒結、成品分選和打包。

2.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述清洗步驟中，依次包括以下步驟：預清洗、漂洗、制絨、連續漂洗、酸洗、漂洗、去氧化層、漂洗和噴淋。

3.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述甩干和復甩干步驟中采用的甩干機的溫度為140℃，轉速為300，噴氮時間為300秒。

4.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述擴散步驟中，依次包括以下步驟：放舟、連續升溫、恒溫、連續擴散、深擴散、降溫與氧鈍化和取舟。

5.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述刻蝕步驟中，依次包括以下步驟：預抽、主抽、送氣、恒壓、輝光、清洗和充氣。

6.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述去PSG步驟中，依次包括以下步驟：酸洗、連續漂洗和噴淋。

7.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述PECVD步驟中，依次包括以下步驟：開始、充氮、取舟、放舟、慢抽、主抽、恒溫、恒壓、預淀積、恒壓、淀積、抽空、抽空、充氮抽空和結束。

8.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述絲網印刷及燒結步驟中，依次包括以下步驟：背電極的印刷、上漿和烘干，背電場的印刷、上漿和烘干，正電極的印刷、上漿和烘干，燒結。

9.按照權利要求1所述的一種太陽能電池晶片的加工方法，其特征在于，所述成品分選步驟中，依次包括以下步驟：測試電池片功率、進行分類、分選色差、數量和打包。