[發明專利]一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置

無效

• 申請號: 201210019607.5
• 申請日: 2012-01-23
• 公開（公告）號: CN103215552A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請（專利權）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/54;F24H1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

所屬技術領域

本發明屬于一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，具體涉及鍍膜腔體冷卻，以維持真空腔體溫度不致于散熱過多，使內部加熱器不斷加熱節約能源。

背景技術

現有濺鍍設備的鍍膜腔體冷卻皆采取同一溫度的冷卻源來冷卻，但大都忽略真空腔體并非主動發熱源，若使用同一溫度冷卻會發生腔體溫度低于室溫，此舉不利于內部設置有加熱裝置的腔體，腔體無形中變成散熱裝置會使加熱源不斷的加熱以達到腔體內熱平衡，不僅非常浪費能源同時增加加熱源加熱功率。

發明內容

綜上所述，為了克服現有技術不足，本發明的主要目的在于提供一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置。

為了達到上述目的，本發明所采用的技術方案是：

一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，包括真空汞、冷卻管路、儲水槽及水汞組成，冷卻水流經真空汞后間接被加熱至一定溫度后流入儲水槽，同時儲水槽設有溫度計及液位傳感器，當溫度高于設定溫度時，冷卻水直接經由電磁閥冷卻儲水槽內部溫度；當液位傳感器動作時排水管排出多馀的水位使儲水槽保持一定的液位。儲水槽的冷卻水再經由水汞流經薄膜沈積設備腔體使腔體保持一定的溫度，此舉節省加熱冷卻水所需的能源，不需另外設置加熱系統。

????綜上所述本發明結構簡單、節省能源。

具體實施方式

????下面結合附圖對本發明做進一步說明。

請參閱圖1所示，一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其包括真空汞11、沈積設備腔體12、儲水槽13、水汞19及冷卻管路18所組成，儲水槽13設有溫度計14及液位傳感器15，冷卻管路設有電磁閥17，冷卻水經由真空汞11被加熱至一定溫度后流入儲水槽13，儲水槽13設有溫度計14，當溫度超過設定時，冷卻水經由電磁閥17直接流入儲水槽13冷卻其溫度；當液位傳感器15動作時排水管16排出多馀的水位使儲水槽13保持一定的液位。儲水槽13的冷卻水再經由水汞19流經薄膜沈積設備腔體12使腔體保持一定的溫度，此舉節省加熱冷卻水所需的能源，不需另外設置加熱系統。

????????以上所述實例是對本發明技術方案的說明而非限制，所屬技術領域普通技術人員的等同替換或者根據現有技術而做的修改，只要未超出本發明技術方案的思路和范圍，均應包含在本發明的權力要求范圍之內。

附圖說明

圖1系為本發明結構示意圖

主要元件符號說明

11．．．真空汞

12．．．沈積設備腔體

13．．．儲水槽

14．．．溫度計

15．．．液位傳感器

16．．．排水管

17．．．電磁閥

18．．．冷卻管路

19．．．水汞