[發明專利]一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置無效
| 申請號： | 201210019607.5 | 申請日： | 2012-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN103215552A | 公開（公告）日： | 2013-07-24 |
| 發明（設計）人： | 周文彬;劉幼海;劉吉人 | 申請（專利權）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/54;F24H1/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 設備 冷卻水 加熱 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其包括儲水槽、供水管路、水汞所組成。
2.根據權利要求1所述之一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其特徵在于儲水槽設有接溫度計及液位傳感器及排水管，儲水槽為不銹鋼材質。
3.根據權利要求1所述之一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其特徵在于冷卻水入口管路設有一水路電磁閥。
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