[發(fā)明專利]結(jié)晶硅制造設(shè)備用的搬運設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210019067.0
• 申請日: 2012-01-20
• 公開（公告）號: CN102605423A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 荻原尚
• 申請（專利權(quán)）人: 大福股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06;C30B35/00;C30B15/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種硅結(jié)晶體制造設(shè)備用的搬運設(shè)備，設(shè)置有搬運車沿著被設(shè)定為經(jīng)過制造硅結(jié)晶體的多個硅結(jié)晶爐的狀態(tài)下的移動路徑上自由移動且自由搬運前述結(jié)晶爐所制造的結(jié)晶硅體。

背景技術(shù)

以過往的前述結(jié)晶硅制造設(shè)備用的搬運設(shè)備為例，設(shè)置有作為結(jié)晶爐的單結(jié)晶硅體制造裝置(以下簡稱單結(jié)晶爐)，設(shè)置有搬運車沿著在被設(shè)定經(jīng)過多個單結(jié)晶爐的狀態(tài)下的直線狀移動路徑上自由移動且自由搬運單結(jié)晶爐所制造的單結(jié)晶硅體(例如請參照專利文獻(xiàn)1)。

單結(jié)晶爐為一種將硅石中取得的金屬硅精制、析出后將多結(jié)晶硅溶融于例如備有可自由拆卸的石英制坩堝，通過于坩堝將晶種浸于溶融的硅中并慢慢拉起，使與此晶種具同樣方向配列的單結(jié)晶被成長，最后成為大圓柱狀的鑄塊的加工裝置。

上述專利文件1的搬運裝置是，于移動路徑上行走移動，將被投入單結(jié)晶硅的原料的坩堝從設(shè)定于與移動路徑的端部對應(yīng)的位置的坩堝搬入?yún)^(qū)塊搬運至單結(jié)晶爐，并將鑄塊從單結(jié)晶爐搬運至設(shè)定于與移動路徑的端部對應(yīng)的位置的鑄塊搬出區(qū)塊。

因此，搬運坩堝至單結(jié)晶爐的作業(yè)或是從單結(jié)晶爐搬運鑄塊的作業(yè)皆可排除作業(yè)員，達(dá)到于硅結(jié)晶制造設(shè)備中減輕作業(yè)員的勞力。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-132508號公報

發(fā)明內(nèi)容

【發(fā)明要解決的課題】

但以往的硅結(jié)晶制造設(shè)備用的搬運設(shè)備是，如上述般，將單結(jié)晶爐所制造的鑄塊由搬運車進(jìn)行搬運，可減輕作業(yè)員從單結(jié)晶爐搬運鑄塊的勞力，搬運車搬運至搬出區(qū)塊的鑄塊，由作業(yè)員換乘至別的臺車后，為了加工成基板狀而由人為作業(yè)搬運至切削加工機或是通過利用其它搬運單元搬運至切削加工機。

順帶一提，在制造太陽能電池用的半導(dǎo)體基板的情形，經(jīng)常使用多結(jié)晶硅體作為硅結(jié)晶體。

多結(jié)晶硅體是，于多結(jié)晶爐使用可自由卸載的量杯狀例如石墨制的坩堝，鑄造成扁平長方體形狀，之后，通過加工機縱斷成角柱狀，之后，將角柱狀的多結(jié)晶硅體進(jìn)行切削加工。因此，與圓柱狀的單結(jié)晶硅體不一樣，在使用多結(jié)晶硅體的情形，切削成基板狀前，必須通過加工機進(jìn)行角加工的步驟將扁平長方體縱斷加工成角柱狀。

然而，將以往的硅結(jié)晶制造設(shè)備用的搬運設(shè)備用于多結(jié)晶硅體的制造設(shè)備的話，搬運車只有搬運多結(jié)晶爐所鑄造的多結(jié)晶硅體，之后為了角加工送至加工機需要由人為作業(yè)來搬運，或是由其它的搬運單元進(jìn)行搬運。

因此，對多結(jié)晶硅體來說，角加工的步驟為必要的部分，對于以往的硅結(jié)晶制造設(shè)備用的搬運設(shè)備，到多結(jié)晶硅體被供給至切削加工機為止，多結(jié)晶硅體會發(fā)生多次的換乘作業(yè)，給予作業(yè)員較大的負(fù)擔(dān)。

再且，單結(jié)晶爐與多結(jié)晶爐是，為了于接近攝氏1000度的高溫下將多結(jié)晶硅溶融，單結(jié)晶爐或多結(jié)晶爐被設(shè)置的空間會成為高溫環(huán)境，將多結(jié)晶硅縱斷加工成角柱狀的步驟中，由于冷卻切斷時所產(chǎn)生的熱的切削油形成油霧擴散于大氣環(huán)境中，以往，為了避免設(shè)置多結(jié)晶爐的空間與設(shè)置加工機的空間相互受到環(huán)境的影響設(shè)置有分隔壁將其區(qū)隔。為此，為了從一側(cè)空間移動至另一側(cè)空間，必須使連通兩空間的聯(lián)絡(luò)口開通，不能自由移動于兩空間之間。因此，在從設(shè)置多結(jié)晶爐的空間至設(shè)置加工機的空間中進(jìn)行搬運多結(jié)晶體硅的作業(yè)會有許多問題。

本發(fā)明有鑒于上述的實際情況，目的在于提供一種硅結(jié)晶制造設(shè)備用的搬運設(shè)備，能夠減輕作業(yè)員至多結(jié)晶硅體進(jìn)行縱斷加工為止的作業(yè)負(fù)擔(dān)。

【用以解決課題的手段】

為了達(dá)成此目的，關(guān)于本發(fā)明的結(jié)晶硅制造設(shè)備用的搬運設(shè)備的第一特征構(gòu)成為，在設(shè)置有搬運車沿著被設(shè)定經(jīng)過多個結(jié)晶爐的狀態(tài)下的移動路徑上自由移動且自由搬運前述結(jié)晶爐所制造的結(jié)晶硅體的結(jié)晶硅制造設(shè)備用的搬運設(shè)備，

前述多個結(jié)晶爐是，用來鑄造多結(jié)晶硅的多結(jié)晶爐，前述移動路徑被設(shè)定為直線狀。位于前述移動路徑的長邊方向的一側(cè)部分的一側(cè)空間、以及位于前述移動路徑的長邊方向的另一側(cè)部分的另一側(cè)空間，通過形成讓前述搬運車自由通過的通過用開口的分隔壁分隔并相互鄰接而配置，前述多個多結(jié)晶爐所鑄造的多結(jié)晶硅體進(jìn)行縱斷加工的多加工機，沿著前述另一側(cè)空間中的前述移動路徑的另一側(cè)部分所配置，前述搬運車，可將于前述多結(jié)晶爐所鑄造的前述多結(jié)晶硅體自由搬運通過前述分隔壁從前述多結(jié)晶爐送至前述加工機的等特點所構(gòu)成。

根據(jù)本特征構(gòu)成，因為被配置成相互鄰接的一側(cè)空間與另一側(cè)空間用分隔壁所分隔，可防止一側(cè)空間的環(huán)境(例如，因配置多個多結(jié)晶爐而導(dǎo)致的高溫環(huán)境)以及另一側(cè)空間的環(huán)境(例如，因配置多個加工機而導(dǎo)致的粉塵或油霧浮游的環(huán)境)之間互相影響。