[發明專利]結晶硅制造設備用的搬運設備

在審

• 申請號: 201210019067.0
• 申請日: 2012-01-20
• 公開（公告）號: CN102605423A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 荻原尚
• 申請（專利權）人: 大福股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06;C30B35/00;C30B15/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種結晶硅制造設備用的搬運設備，是沿著被設定為經由制造結晶硅體的多個結晶爐狀態的移動路徑自由移動，且在該搬運設備中設有可自由搬運該多個結晶爐所制造的結晶硅體的搬運車，其中；

該多個結晶爐為鑄造多結晶硅體的多結晶爐；

該移動路徑被設定為直線狀；

位于該移動路徑的長邊方向的一側部分的一側空間以及位于該移動路徑的長邊方向的另一側部分的另一側空間是被分隔板所分隔且互相鄰接而被配置，其中該分隔板形成有可讓該搬運車自由通過的通過用開口；

該多個多結晶爐沿著該一側空間中的該移動路徑而被設置；

將該多個多結晶爐所鑄造的多結晶硅體縱斷加工成角柱狀的多個加工機，沿著該另一側空間中的該移動路徑的另一側部分而被設置；以及

該搬運車可將該多結晶爐所鑄造的該多結晶硅體通過該分隔板，并從該多結晶爐自由搬運至該多個加工機。

2.如權利要求1所述的結晶硅制造設備用的搬運設備，其中；

在該一側空間且與該移動路徑的端部相對應的區塊以及位于該另一側空間且與該移動路徑的端部相對應的區塊中，設有坩堝支撐平臺自由載置并支撐用以鑄造該多結晶硅體的坩堝；

該一側空間中的該坩堝支撐平臺，被設置在通過人工操作投入該多結晶硅體原料至空的坩堝的鑄造準備作業用區塊中；

該另一側空間中的該坩堝支撐平臺，被設置在通過人工操作對收容該多結晶爐所鑄造的該多結晶硅體的該坩堝進行破碎的坩堝破碎作業用區塊中；

該搬運車具有將該坩堝自由支撐且在與移載對象區塊之間可自由移載該坩堝的移載裝置，當對應該鑄造準備作業用區塊的該移動路徑中的位置為停止的狀態下使該移載裝置動作，將該一側空間中的該坩堝支撐平臺當作該移載對象區塊，可自由接收被投入有該多結晶硅體原料的該坩堝；當對應該坩堝破碎作業用區塊的該移動路徑中的位置為停止的狀態下使該移載裝置動作，將該另一側空間中的該坩堝支撐平臺當作該移載對象區塊，可自由送出收容被鑄造的該多結晶體硅的該坩堝。

3.如權利要求2所述的結晶硅制造設備用的搬運設備，其中；

在與該坩堝破碎作業用區塊沿著該移動路徑的長邊方向上相互鄰接的加工準備用作業區塊中，設置有將與該多結晶硅體的底面粘接的托盤、以粘著面向上的姿勢載置支撐的托盤支撐平臺；

與該托盤的粘接面為粘接狀態的該多結晶硅體從該搬運車被供給至該加工機，且該加工機對該多結晶硅體縱斷加工成角柱狀；

該搬運車，通過該移載裝置將該托盤由該托盤支撐平臺以及該加工機自由移載。

4.如權利要求3所述的結晶硅制造設備用的搬運設備，其中；

該一側空間與該另一側空間的中，配置有多個自由收納該坩堝以及該托盤的收納部；

該搬運車，在該多個收納部之間自由授受該坩堝以及該托盤。

5.如權利要求1～4項中任一所述的結晶硅制造設備用的搬運設備，其中；

該搬運車是由具備沿著該移動路徑自由行走的行走臺車、以及沿著豎立于該行走臺車上的升降桅桿自由升降的升降臺的堆裝起重機所構成。