[發(fā)明專利]波長可變干涉濾波器、光模塊、光分析裝置以及分析裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210017974.1
• 申請(qǐng)日: 2012-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN102608753A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廣久保望
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B26/00
• 分類號(hào): G02B26/00;G01J3/02
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于取得特定波長的光的波長可變干涉濾波器、光模塊、以及光分析裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，已知一種從多波長的光提取出特定波長的光的波長可變干涉濾波器(濾光器元件)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

該專利文獻(xiàn)1中記載的波長可變干涉濾波器(光學(xué)濾波器裝置)包括第一基板和與第一基板相對(duì)的第二基板，其中，第一基板包括可動(dòng)部(第一部分)以及支撐可動(dòng)部的膜片(第二部分)。并且，在第一基板的可動(dòng)部上形成有可動(dòng)反射鏡，在第二基板的與可動(dòng)部相對(duì)的面上形成有固定反射鏡。并且，在第一基板以及第二基板上分別設(shè)有環(huán)狀的電極，從這些電極向各基板的外周緣分別形成引出配線。

但是，在上述專利文獻(xiàn)1中記載的波長可變干涉濾波器中，形成于第一基板的引出配線與第二基板相對(duì)，形成于第二基板的引出配線與第一基板相對(duì)。在這樣的構(gòu)成中，當(dāng)將波長可變干涉濾波器組裝于傳感器等模塊并將配線連接時(shí)，需要對(duì)各個(gè)不同的基板上的引出配線實(shí)施配線操作，存在復(fù)雜這樣的問題。

另一方面，已知有通過在一個(gè)基板上設(shè)置浮動(dòng)電極從而僅在一個(gè)基板上實(shí)施用于施加電壓的配線的波長可變干涉濾波器(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。

在該專利文獻(xiàn)2中，示出了采用在可動(dòng)反射鏡(第一反射鏡)上設(shè)置一個(gè)矩形形狀的浮動(dòng)電極、并且在固定反射鏡(第二反射鏡)上設(shè)置兩個(gè)控制電極的結(jié)構(gòu)的波長可變干涉濾波器(干涉計(jì))。在這種波長可變干涉濾波器中，僅對(duì)設(shè)置于一個(gè)基板的一對(duì)控制電極實(shí)施配線，就能夠?qū)㈦妷菏┘佑诳刂齐姌O和浮動(dòng)電極之間，從而能夠利用靜電引力使可動(dòng)反射鏡位移。

但是，在上述專利文獻(xiàn)2的波長可變干涉濾波器中，在可動(dòng)反射鏡上形成有矩形形狀的浮動(dòng)電極。在這樣的構(gòu)成中，沿圓周方向?qū)馔高^部的中心作用的靜電引力產(chǎn)生不均。例如，在從光透過部的中心朝向浮動(dòng)電極的矩形頂點(diǎn)方向的直線區(qū)域中，與控制電極相對(duì)的長度較長，從而靜電引力作用較大。另一方面，在從光透過部的中心朝向浮動(dòng)電極的矩形的邊的中點(diǎn)的直線區(qū)域中，與控制電極相對(duì)的長度較短，從而靜電引力變小。即，當(dāng)相對(duì)于光透過部的中心點(diǎn)在周向上觀察靜電引力的均衡時(shí)，從光透過部的中心朝向矩形頂點(diǎn)方向的區(qū)域的靜電引力較大，其他區(qū)域的靜電引力變小，因此靜電引力產(chǎn)生不均。

并且，電極間的距離越小，靜電引力就越大地進(jìn)行作用。因此，越施加電壓，在從光透過部的中心朝向浮動(dòng)電極的矩形頂點(diǎn)方向的直線區(qū)域進(jìn)行作用的靜電引力與在從光透過部的中心朝向浮動(dòng)電極的矩形的邊的中點(diǎn)的直線區(qū)域進(jìn)行作用的靜電引力的差就越大，可能會(huì)在可動(dòng)反射鏡上產(chǎn)生撓曲。在該情況下，存在波長可變干涉濾波器的分辨率降低的問題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2009-251105號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開111-67076號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

(發(fā)明要解決的技術(shù)問題)

鑒于上述問題，本發(fā)明目的在于提供結(jié)構(gòu)簡單、即使反射膜間的間隙尺寸變化時(shí)也能夠抑制分辨率的降低、并且能夠容易地將配線連接的波長可變干涉濾波器、光模塊以及光分析裝置。

(解決技術(shù)問題的技術(shù)方案)

本發(fā)明的波長可變干涉濾波器的特征在于，具備：第一基板；第二基板，所述第二基板與所述第一基板彼此相對(duì)；第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)置于所述第一基板；第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)置于所述第二基板，并且隔著間隙與所述第一反射膜相對(duì)；以及靜電執(zhí)行機(jī)構(gòu)，所述靜電執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于所述第一基板的第一電極以及設(shè)置于所述第二基板并且與所述第一電極彼此相對(duì)的第二電極，其中，在從基板厚度方向觀看所述第一基板以及所述第二基板的俯視圖中，所述第二基板設(shè)置為圓形形狀，并且包括設(shè)置有所述第二反射膜的可動(dòng)部以及以所述可動(dòng)部能夠相對(duì)于所述第一基板進(jìn)退的方式保持所述可動(dòng)部的保持部，在所述俯視圖中，所述第一電極包括沿以所述可動(dòng)部的中心點(diǎn)為中心的假想圓設(shè)置的第一部分電極以及第二部分電極，在所述第一基板上，設(shè)置有從所述第一部分電極向所述第一基板的外周緣延伸出的第一引出電極以及從所述第二部分電極向所述第一基板的外周緣延伸出的第二引出電極，在所述俯視圖中，所述第二電極包括與所述第一部分電極重疊的第一相對(duì)區(qū)域以及與所述第二部分電極重疊的第二相對(duì)區(qū)域，并且所述第二電極為以所述可動(dòng)部的中心點(diǎn)為中心的圓環(huán)狀，在所述俯視圖中，在所述第一部分電極和所述第二電極的所述第一相對(duì)區(qū)域間構(gòu)成的第一部分致動(dòng)器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸，在所述俯視圖中，在所述第二部分電極和所述第二電極的所述第二相對(duì)區(qū)域間構(gòu)成的第二部分致動(dòng)器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸。