[發明專利]波長可變干涉濾波器、光模塊、光分析裝置以及分析裝置

有效

• 申請號: 201210017974.1
• 申請日: 2012-01-19
• 公開（公告）號: CN102608753A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 廣久保望
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G01J3/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備：

第一基板；

第二基板，所述第二基板與所述第一基板彼此相對；

第一反射膜，所述第一反射膜設置于所述第一基板；

第二反射膜，所述第二反射膜設置于所述第二基板，并且隔著間隙與所述第一反射膜相對；以及

靜電執行機構，所述靜電執行機構包括設置于所述第一基板的第一電極以及設置于所述第二基板并且與所述第一電極彼此相對的第二電極，

在從基板厚度方向觀看所述第一基板以及所述第二基板的俯視圖中，所述第二基板包括設置為圓形形狀并且設置有所述第二反射膜的可動部以及以所述可動部能夠相對于所述第一基板進退的方式保持所述可動部的保持部，

在所述俯視圖中，所述第一電極包括沿以所述可動部的中心點為中心的假想圓設置的第一部分電極以及第二部分電極，

在所述第一基板上，設置有從所述第一部分電極向所述第一基板的外周緣延伸出的第一引出電極以及從所述第二部分電極向所述第一基板的外周緣延伸出的第二引出電極，

在所述俯視圖中，所述第二電極包括與所述第一部分電極重疊的第一相對區域以及與所述第二部分電極重疊的第二相對區域，并且所述第二電極為以所述可動部的中心點為中心的圓環狀，

在所述俯視圖中，在所述第一部分電極和所述第二電極的所述第一相對區域間構成的第一部分致動器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸，

在所述俯視圖中，在所述第二部分電極和所述第二電極的所述第二相對區域間構成的第二部分致動器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸。

2.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述第一部分電極為沿第一假想圓的圓環形狀，

所述第二部分電極為沿直徑尺寸比所述第一假想圓大的第二假想圓的圓弧形狀。

3.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述第一部分電極為沿第一假想圓的圓弧形狀，

所述第二部分電極為沿所述第一假想圓的圓弧形狀，在所述俯視圖中，所述第二部分電極形成與所述第一部分電極相同的形狀，并且設置在相對于所述可動部的中心點與所述第一部分電極為點對稱的位置。

4.一種光模塊，其特征在于，具備：

權利要求1至3中任一項所述的波長可變干涉濾波器；以及

檢測部，用于檢測由所述波長可變干涉濾波器提取出的光。

5.一種光分析裝置，其特征在于，具備：

權利要求4所述的光模塊；以及

分析處理部，所述分析處理部基于所述光模塊的所述檢測部所檢測到的光來分析所述光的光特性。

6.一種分析裝置，其特征在于，具備：

權利要求4所述的光模塊；以及

分析處理部，所述分析處理部基于所述光模塊的所述檢測部所檢測到的光來分析所述光的光特性。

7.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備：

第一基板；

第二基板，所述第二基板與所述第一基板彼此相對；

第一反射膜，所述第一反射膜設置于所述第一基板；

第二反射膜，所述第二反射膜設置于所述第二基板，并且隔著間隙與所述第一反射膜相對；以及

設置于所述第一基板的第一電極及設置于所述第二基板并與所述第一電極彼此相對的第二電極，

在從基板厚度方向觀看所述第一基板以及所述第二基板的俯視圖中，所述第二基板包括設置為圓形形狀并且設置有所述第二反射膜的可動部以及以所述可動部能夠相對于所述第一基板進退的方式保持所述可動部的保持部，

在所述俯視圖中，所述第一電極包括沿以所述可動部的中心點為中心的假想圓設置的第一部分電極以及第二部分電極，

在所述第一基板上，設置有從所述第一部分電極向所述第一基板的外周緣延伸出的第一引出電極以及從所述第二部分電極向所述第一基板的外周緣延伸出的第二引出電極，

在所述俯視圖中，所述第二電極包括與所述第一部分電極重疊的第一相對區域以及與所述第二部分電極重疊的第二相對區域，并且所述第二電極為以所述可動部的中心點為中心的圓環狀，

在所述俯視圖中，在所述第一部分電極和所述第二電極的所述第一相對區域間構成的第一部分致動器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸，

在所述俯視圖中，在所述第二部分電極和所述第二電極的所述第二相對區域間構成的第二部分致動器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸。

8.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備：

第一電極及與所述第一電極相對的第二電極；以及

設置有反射膜的可動部，

在從厚度方向觀看所述可動部的俯視圖中，所述第一電極包括：沿以所述可動部的中心點為中心的假想圓設置的第一部分電極及第二部分電極、以及從所述第一部分電極向外周緣延伸出的第一引出電極和從所述第二部分電極向外周緣延伸出的第二引出電極，

在所述俯視圖中，所述第二電極包括與所述第一部分電極重疊的第一相對區域以及與所述第二部分電極重疊的第二相對區域，并且所述第二電極為以所述可動部的中心點為中心的圓環狀，

在所述俯視圖中，在所述第一部分電極和所述第二電極相對的區域間構成的第一部分致動器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸，

在所述俯視圖中，在所述第二部分電極和所述第二電極相對的區域間構成的第二部分致動器沿所述假想圓形成相同寬度尺寸。