[發(fā)明專利]軟板檢測分區(qū)對位的校正方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210015749.4
• 申請日: 2012-01-19
• 公開（公告）號: CN103217421B
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏志凌;寧軍;龔關(guān)
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山思拓機(jī)器有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種軟板檢測自適應(yīng)分區(qū)對位校正方法。

背景技術(shù)

在使用平板掃描設(shè)備進(jìn)行軟板檢測過程中，將軟板放置在檢測儀平板玻璃上，通過線性掃描相機(jī)結(jié)合步進(jìn)電機(jī)獲取軟板圖像。經(jīng)過對圖像的特征識(shí)別，獲取軟板上開口和劃線的位置，生成數(shù)據(jù)文件并與原始設(shè)計(jì)文件對比判別開口和劃線是否準(zhǔn)確。但是由于軟板放置過程中本身不平整，在掃描過程時(shí)無法完全貼緊平板玻璃面，如圖1所示，所以容易造成局部圖形扭曲變形。在大面積對位識(shí)別過程中，采用對角兩點(diǎn)對位，變形區(qū)域隨著距離增加誤差累計(jì)也在不斷增加，如圖2所示，最終會(huì)引起圖形偏位，在部分圖形變形區(qū)域會(huì)因?yàn)槲恢闷钸^大而無法正確識(shí)別和匹配開口或劃線，導(dǎo)致識(shí)別錯(cuò)誤。

中國專利CN101249590公開了一種用于R&F板的紫外激光切割機(jī)，包括：激光聚焦掃描系統(tǒng)、軟件控制系統(tǒng)及定位R&F板的抽真空平臺(tái)系統(tǒng)，其中，R&F板包括硬板部分和軟板部分，所述軟件控制系統(tǒng)分別將控制R&F板的硬板部分和軟板部分的程序設(shè)定為硬板控制模組程序和軟板控制模組程序，所述激光聚焦掃描系統(tǒng)分別根據(jù)軟件控制系統(tǒng)的硬板控制模組程序和軟板控制模組程序?qū)Τ檎婵掌脚_(tái)系統(tǒng)上的硬板部分和軟板部分進(jìn)行切割加工。

中國專利CN101742822A公開了一種在軟硬板的軟板區(qū)剝離硬板的方法，主要是以一道壓合步驟使一軟板與至少一內(nèi)層硬板壓合，并使軟板局部外露而形成一軟板區(qū)，利用該技術(shù)可通過簡易的機(jī)械性動(dòng)作移除軟硬板上待移除的硬板部分，解決傳統(tǒng)技藝須經(jīng)過激光切割、曝光顯影、蝕刻、去膜等工藝流程所衍生的耗時(shí)費(fèi)工問題。

上述專利都沒有公開軟板的檢測校正方法。本專利提出一種檢測方法，通過自適應(yīng)分區(qū)對位識(shí)別消除累計(jì)誤差，降低錯(cuò)誤識(shí)別率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有技術(shù)中存在的軟板檢測過程中因變形偏位無法正確識(shí)別的問題。本發(fā)明提供一種新的用于激光切割后，軟板檢測的分區(qū)對位校正方法。該方法具有準(zhǔn)確識(shí)別消除累計(jì)誤差，降低錯(cuò)誤識(shí)別率的優(yōu)點(diǎn)。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：一種軟板檢測分區(qū)對位檢測方法，包括如下以下幾個(gè)步驟：

a） 使用線性ccd設(shè)備與步進(jìn)電機(jī)結(jié)合逐行掃描，獲取軟板圖像；

b） 通過識(shí)別算法，將圖像中開口和劃線轉(zhuǎn)化為圖形；

c） 在軟板的兩對角頂點(diǎn)位置上，設(shè)置P1和P2兩點(diǎn)圖形標(biāo)記，通過P1和P2圖形標(biāo)記進(jìn)行兩點(diǎn)初對位；

d） 設(shè)置分區(qū)圖形數(shù)量上限值N，和分區(qū)Y方向高度Y1以及X方向步進(jìn)值X’距離；

e） 從左上角第一個(gè)圖形位置開始，Y方向固定為Y1，X方向向右擴(kuò)大分區(qū)范圍，每次擴(kuò)大X’距離，當(dāng)X擴(kuò)大到X1時(shí)，分區(qū)內(nèi)圖形數(shù)量達(dá)到或剛好超過N時(shí)，確定第一個(gè)分區(qū)的范圍Z1；

f） 在Z1區(qū)域內(nèi)選取對角兩個(gè)點(diǎn)P1和P3進(jìn)行兩點(diǎn)定位，然后進(jìn)行設(shè)計(jì)圖形與識(shí)別圖形的比較；

g） 從上步驟f）的X方向結(jié)束位置開始，繼續(xù)向右擴(kuò)大分區(qū)范圍，每次擴(kuò)大X’距離，Y方向固定為Y1，X方向當(dāng)X擴(kuò)大到X2時(shí)，分區(qū)內(nèi)圖形數(shù)量達(dá)到或剛好超過N時(shí)，確定第二個(gè)分區(qū)的范圍Z2，選取Z1區(qū)域中距離Z2區(qū)域最近的一個(gè)圖形P3和Z2區(qū)域中距離Z1最遠(yuǎn)的一個(gè)圖形P4作為基準(zhǔn)點(diǎn)進(jìn)行重定位，然后進(jìn)行設(shè)計(jì)圖形與識(shí)別圖形的比較；

h） 重復(fù)步驟g），直到本行最后一個(gè)區(qū)域比較完成；

i） 下一行X起始位置從上一行結(jié)束位置開始，反向擴(kuò)大范圍搜索開口，區(qū)域高度保持Y1，分區(qū)內(nèi)圖形數(shù)量達(dá)到或剛好超過N時(shí)，確定第一個(gè)分區(qū)的范圍Z2，在Z1區(qū)域內(nèi)選取對角兩個(gè)點(diǎn)P2和P3進(jìn)行兩點(diǎn)重定位，然后進(jìn)行設(shè)計(jì)圖形與識(shí)別圖形的比較；

j） 重復(fù)步驟g）至步驟i），S型連續(xù)進(jìn)行區(qū)域掃描，直到整幅面掃描完成為止；完成軟板分區(qū)對位檢測；

其中，每行的第一個(gè)分區(qū)中，采用多次校正檢測方法，包括如下以下幾個(gè)步驟：

Ⅰ）使用線性ccd設(shè)備與步進(jìn)電機(jī)結(jié)合逐行掃描，獲取軟板圖像；

Ⅱ）通過識(shí)別算法，將圖像中開口和劃線轉(zhuǎn)化為圖形；

Ⅲ）在軟板的兩對角頂點(diǎn)位置上，設(shè)置P1和P2兩點(diǎn)圖形標(biāo)記，通過P1和P2圖形標(biāo)記進(jìn)行兩點(diǎn)初對位；

Ⅳ）設(shè)定一個(gè)參數(shù)D的范圍，代表設(shè)計(jì)圖形中心和相應(yīng)識(shí)別的圖形中心位置偏差距離的最小值Dmin和最大值Dmax，其中Dmin和Dmax都大于0；