[發明專利]激光刻線燒蝕修復設備在審

申請號：	201210013299.5	申請日：	2012-01-13
公開（公告）號：	CN102709379A	公開（公告）日：	2012-10-03
發明（設計）人：	覃海;楊明生;劉惠森	申請（專利權）人：	東莞宏威數碼機械有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18
代理公司：	廣州三環專利代理有限公司 44202	代理人：	張艷美;郝傳鑫
地址：	523000 廣東省東莞市南城***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	激光刻線燒蝕修復設備
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【權利要求書】：

1.一種激光刻線燒蝕修復設備，其特征在于：包括機架、輸入輸出對位機構、修復機構及升降移動機構，所述輸入輸出對位機構設置于所述機架上，所述修復機構設置于所述輸入輸出對位機構的上方，且所述修復機構與所述升降移動機構連接，所述升降移動機構帶動所述修復機構升降或移動，其中，所述修復機構包括呈長條狀的連接塊，所述連接塊的長度方向上等間距地排列有多個電極棒，每一所述電極棒上均設置有至少兩對不同間距的探針，所述電極棒上間距相同的所述探針位于同一平面。

2.如權利要求1所述的激光刻線燒蝕修復設備，其特征在于：所述電極棒還包括本體及至少兩對間距不同的針套，所述本體的一端連接于所述連接塊上，間距不同的每對所述針套依次設置于所述本體的另一端，所述探針可拆卸地安裝于其中一對所述針套內。

3.如權利要求1所述的激光刻線燒蝕修復設備，其特征在于：所述修復機構還包括安裝板，多個所述連接塊相互平行地設置于所述安裝板的一側面，多個所述連接塊上等間距排列的所述電極棒形成陣列，所述安裝板的另一側面與所述升降移動機構連接。

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