[發(fā)明專利]激光刻線燒蝕修復(fù)設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210013299.5
• 申請日: 2012-01-13
• 公開（公告）號: CN102709379A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 覃海;楊明生;劉惠森
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及非晶硅太陽能電池板技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種對激光刻線后的非晶硅太陽能電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)的設(shè)備。

背景技術(shù)

非晶硅(a-Si)太陽電池是在玻璃(glass)襯底上沉積透明導(dǎo)電膜(TCO)，然后依次用等離子體反應(yīng)沉積p型、i型、n型三層a-Si，接著再蒸鍍金屬電極鋁(Al)形成，光從玻璃面入射，電池電流從透明導(dǎo)電膜和鋁引出；其還可以用不銹鋼片、塑料等作襯底；非晶硅太陽電池的厚度不到1μm，不足晶體硅太陽電池厚度的1/100，這就大大降低了薄膜太陽能電池制造成本，又由于非晶硅太陽電池的制造溫度很低(～200℃)，易于實(shí)現(xiàn)大面積等優(yōu)點(diǎn)，使其在薄膜太陽電池中占據(jù)首要地位。

在非晶硅太陽能電池板制備過程中每一次的蒸鍍(或?yàn)R鍍，或覆膜)都需要用激光發(fā)生器對其進(jìn)行激光刻線，其中，第一道激光劃線，也叫做P1，需要將導(dǎo)電薄膜層劃斷；第二道激光劃線即P2，需要?jiǎng)潝喙鑼樱荒芷茐膶?dǎo)電薄膜層；第三道激光劃線即P3，需要將劃背電極及硅層，同樣不能破壞導(dǎo)電薄膜層。三道激光劃線需要平行度高，避免交叉；需要線寬線距小，以降低死區(qū)寬度；同時(shí)需要邊緣平滑無毛刺，避免未劃斷造成短路，光斑重疊率要小，以提高加工效率。

但在激光刻線過程中，會有些部分劃線沒有完全刻斷，這些沒有刻斷的部分將影響非晶硅太陽能電池板的性能，因此，需要利用一種專門的燒結(jié)修復(fù)設(shè)備將激光刻線中沒有完全刻斷的部分燒斷，以提高激光刻線的絕緣電阻；目前，對非晶硅太陽能電池板的導(dǎo)電薄膜的激光刻線進(jìn)行燒蝕修復(fù)的設(shè)備，主要采用探針陣列的形式構(gòu)成燒蝕修復(fù)電極，即在電極上設(shè)置有與激光刻線的間距相對應(yīng)的探針陣列，每套探針陣列只能適用于一種間距的激光刻線，當(dāng)激光刻線間距有變化時(shí)，必須更換整套探針陣列，無法靈活應(yīng)用于不同間距的激光刻線中，另外，電極探針陣列的電路復(fù)雜，更換整套探針陣列的成本很高。

因此，有必要提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可兼容不同激光刻線間距、且成本低的燒蝕修復(fù)設(shè)備來克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可兼容不同激光刻線間距、且成本低的激光刻線燒蝕修復(fù)設(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：提供一種激光刻線燒蝕修復(fù)設(shè)備，其包括機(jī)架、輸入輸出對位機(jī)構(gòu)、修復(fù)機(jī)構(gòu)及升降移動機(jī)構(gòu)，所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述機(jī)架上，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)的上方，且所述修復(fù)機(jī)構(gòu)與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接，所述升降移動機(jī)構(gòu)帶動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)升降或移動，其中，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)包括呈長條狀的連接塊，所述連接塊的長度方向上等間距地排列有多個(gè)電極棒，每一所述電極棒上均設(shè)置有至少兩對不同間距的探針，所述電極棒上間距相同的所述探針位于同一平面。

較佳地，所述電極棒還包括本體及至少兩對間距不同的針套，所述本體的一端連接于所述連接塊上，間距不同的每對所述針套依次設(shè)置于所述本體的另一端，所述探針可拆卸地安裝于其中一對所述針套內(nèi)；設(shè)置不同間距的針套，對電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)時(shí)，可根據(jù)不同的激光刻線間距而將探針安裝于相對應(yīng)的針套里，可兼容多種不同間距的激光刻線，增加使用的靈活性，且整個(gè)機(jī)構(gòu)的強(qiáng)度較好，探針的針頭平面不易變形。

較佳地，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)還包括安裝板，多個(gè)所述連接塊相互平行地設(shè)置于所述安裝板的一側(cè)面，多個(gè)所述連接塊上等間距排列的所述電極棒形成陣列，所述安裝板的另一側(cè)面與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接；多個(gè)連接塊的設(shè)置，使得對電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)時(shí)，不需要對修復(fù)機(jī)構(gòu)進(jìn)行頻繁地升降及平移，可大大縮短修復(fù)工作以為的時(shí)間，提高工作效率。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明的激光刻線燒蝕修復(fù)設(shè)備，其修復(fù)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)的上方且與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接，所述升降移動機(jī)構(gòu)帶動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)升降或移動，其中，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)包括呈長條狀的連接塊，所述連接塊的長度方向上等間距地排列有多個(gè)電極棒，每一所述電極棒上均設(shè)置有至少兩對不同間距的探針，所述電極棒上間距相同的所述探針位于同一平面，這樣，在對激光刻線后的非晶硅太陽能電池板進(jìn)行修復(fù)時(shí)，根據(jù)不同的刻線間距選擇使用不同間距的探針，因此可兼容不同間距的激光刻線，以滿足不同產(chǎn)能的要求，增加使用的靈活性，同時(shí)避免了更換整套探針陣列，從而降低該激光刻線燒蝕修復(fù)設(shè)備的成本，且該燒蝕修復(fù)設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡單。

附圖說明

圖1是本發(fā)明激光刻線燒蝕修復(fù)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明激光刻線燒蝕修復(fù)設(shè)備的另一結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是圖1中修復(fù)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3中連接塊及電極棒的結(jié)構(gòu)示意圖。