[發(fā)明專利]氣體通道模塊及應(yīng)用其的氣體分配裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210013232.1
• 申請日: 2012-01-17
• 公開（公告）號: CN103205719A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 施玉安;戴陸節(jié)
• 申請（專利權(quán)）人: 上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司;上海北玻玻璃技術(shù)工業(yè)有限公司;洛陽北方玻璃技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C03C17/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 胡美強;楊東明

1.一種氣體通道模塊，其特征在于，所述氣體通道模塊總體為一個長方體，其中，

所述長方體水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面設(shè)置有第一長槽，第二端面設(shè)置有第二長槽；

所述長方體頂面設(shè)置有一主進(jìn)氣孔和多個輔進(jìn)氣孔，長方體主體對應(yīng)主進(jìn)氣孔和輔進(jìn)氣孔設(shè)有第一內(nèi)部通道和第二內(nèi)部通道，所述長方體底面設(shè)置有多個主出氣孔和多個輔出氣孔；

所述主進(jìn)氣孔通過第一內(nèi)部通道與第一長槽相通，所述輔進(jìn)氣孔通過第二內(nèi)部通道與第二長槽相通。

2.如權(quán)利要求1所述的氣體通道模塊，其特征在于，所述第一長槽與氣體通道模塊底部通過主出氣孔相通，所述第二長槽被隔離成多個獨立的輔氣長槽，所述多個輔氣長槽依次排列，每個輔氣長槽與氣體通道模塊底部通過輔出氣孔相通。

3.如權(quán)利要求2所述的氣體通道模塊，其特征在于，所述氣體通道模塊的第二端面上還設(shè)置第三長槽，所述第三長槽通過一第三內(nèi)部通道與部分輔進(jìn)氣孔相通，所述第三長槽通過一輔助槽與第二長槽中的部分輔氣長槽相通。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的氣體通道模塊，其特征在于，所述長方體頂部設(shè)置有頂部氣槽，部分輔進(jìn)氣孔與頂部氣槽連接。

5.一種氣體分配裝置，其特征在于，所述裝置包括一氣體通道模塊、頂板、第一側(cè)板、第二側(cè)板、U型蓋板，所述的氣體通道模塊采用如權(quán)利要求3或4所述的氣體通道模塊，其中，

所述頂板密封氣體通道模塊頂面，所述第一側(cè)板密封第一長槽，所述第二側(cè)板密封第二長槽和/或第三長槽。

6.如權(quán)利要求5所述的氣體分配裝置，其特征在于，所述頂板包括注氣接頭，所述注氣接頭與所述主進(jìn)氣孔和輔進(jìn)氣孔對應(yīng)設(shè)置。

7.如權(quán)利要求5所述的氣體分配裝置，其特征在于，所述U型蓋板安裝在氣體通道模塊的底部，與氣體通道模塊底部形成混氣腔。

8.如權(quán)利要求6所述的氣體分配裝置，其特征在于，所述混氣腔內(nèi)部設(shè)置有封板，將混氣腔分割為獨立的幾段。

9.如權(quán)利要求6、7或8所述的氣體分配裝置，其特征在于，所述U型蓋板上設(shè)置有噴氣孔。

10.如權(quán)利要求9所述的氣體分配裝置，其特征在于，所述噴氣孔旁還設(shè)置有導(dǎo)流板。