[發明專利]以銅為主成分的金屬薄膜的蝕刻液組合物無效
| 申請號： | 201210013092.8 | 申請日： | 2012-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN102618872A | 公開（公告）日： | 2012-08-01 |
| 發明（設計）人： | 大城研二;河野良;高橋秀樹 | 申請（專利權）人： | 關東化學株式會社 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京高文律師事務所 11359 | 代理人： | 徐江華 |
| 地址： | 日本國東*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 為主 成分 金屬 薄膜 蝕刻 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種蝕刻方法，其特征在于，使用配合40～50重量％的磷酸、1.5～3.5重量％的硝酸、25～40重量％的醋酸和水而成的蝕刻液組合物，對具有由銅形成的層和由含銅的銅合金形成的層的金屬層積膜進行蝕刻，其中，銅合金不包括由銅以及鉬和/或鈦形成的合金。
2.如權利要求1所述的蝕刻方法，其中，金屬層積膜由銅/銅合金或銅合金/銅/銅合金的層構成，銅合金與基板接觸。
3.如權利要求1或2所述的蝕刻方法，其中，銅合金是銅-鎂-鋁或銅-鎂-鋁氧化物。
4.一種蝕刻液組合物，其為對具有由銅形成的層和由含銅的銅合金形成的層的金屬層積膜進行蝕刻的蝕刻液組合物，所述銅合金不包括由銅以及鉬和/或鈦形成的合金，所述蝕刻液組合物通過配合40～60重量％的磷酸、1.5～4.0重量％的硝酸、25～45重量％的醋酸和水而成。
5.如權利要求4所述的蝕刻液組合物，其中，金屬層積膜由銅/銅合金或銅合金/銅/銅合金的層構成，銅合金與基板接觸。
6.如權利要求4或5所述的蝕刻液組合物，其用于對平板顯示器中的驅動晶體管電極進行蝕刻。
7.如權利要求4或5所述的蝕刻液組合物，其中，銅合金是銅-鎂-鋁或銅-鎂-鋁氧化物。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于關東化學株式會社，未經關東化學株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210013092.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
