[發(fā)明專利]掩模對位裝置及其對位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210010748.0
• 申請日: 2012-01-16
• 公開（公告）號: CN103205694A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏志凌;高小平;鄭慶靚
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
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1.一種掩模對位裝置，用于對位掩模板和掩模框架，其特征在于：包括基臺、銷釘、拉動裝置，所述掩模板、所述掩模框架、所述銷釘和所述拉動裝置均位于基臺上，所述掩模板和所述掩模框架上分別具有對位孔，所述銷釘可以通過所述拉動裝置微調(diào)其位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模對位裝置，其特征在于，所述掩模板上的對位孔形狀與所述掩模框架上的對位孔形狀相同、數(shù)量相等、大小相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模對位裝置，其特征在于，所述對位孔可以是方孔、圓弧孔等形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掩模對位裝置，其特征在于，所述掩模板和所述掩模框架上的對位孔至少為兩個。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模對位裝置，其特征在于，所述基臺的內(nèi)邊緣位于所述掩模框架的內(nèi)邊緣里側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模對位裝置，其特征在于，所述銷釘可以在所述掩模框架的外邊框長度范圍內(nèi)的任意位置，所述銷釘?shù)膫€數(shù)至少為三個。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模對位裝置，其特征在于，當(dāng)所述掩模框架一邊中的銷釘為一個時，銷釘位于掩模框架該邊的中間位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模對位裝置，其特征在于，當(dāng)所述掩模框架一邊中的銷釘為兩個時，兩個銷釘關(guān)于掩模框架該邊的中點對稱。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模對位裝置，其特征在于，所述掩模框架外邊框上至少有兩條邊有銷釘。

10.一種掩模對位方法，其特征在于，使用上述掩模對位裝置實現(xiàn)。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩模對位方法，其特征在于，步驟包括：將掩模框架放于對位基臺上，使其側(cè)面與銷釘相接觸；將掩模板水平放置在掩模框架上，保證二者緊密貼合；通過CCD準(zhǔn)確捕捉掩模板及掩模框架上的對位孔；通過裝置自帶軟件讀出相對應(yīng)的對位孔的最大偏差值；若差值超出±15μm，調(diào)整銷釘；再次用CCD?捕捉掩模板及掩模框架上的對位孔，讀取兩組對位孔之間相對偏差值；重復(fù)讀取兩組對位孔的偏差值，直至控制在±15μm。