[發明專利]一種掩模板組件無效
| 申請號： | 201210010722.6 | 申請日： | 2012-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN103205693A | 公開（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發明（設計）人： | 魏志凌;高小平;鄭慶靚;孫倩 | 申請（專利權）人： | 昆山允升吉光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C22C38/08 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 模板 組件 | ||
1.一種掩模板組件，包括掩模板本體和掩模框架，所述掩模板本體在拉伸狀態下固定在所述掩模框架上，其特征在于：所述掩模板本體具有與蒸鍍基板相同的熱膨脹系數。
2.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體、掩模框架均采用4J36因瓦合金制成。
3.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述4J36因瓦合金按重量百分比含64%的Fe和36%的Ni。
4.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述4J36因瓦合金為面心立方結構。
5.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體與所述掩模框架通過焊接方式固定在一起。
6.根據權利要求5所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體與所述掩模框架焊接位置在掩模框架的邊框區域。
7.根據權利要求6所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體與所述掩模框架焊接位置在掩模框架的邊框中心線到掩模框架邊框外邊界之間的區域。
8.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體與所述掩模框架通過粘接方式固定在一起。
9.根據權利要求8所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體與所述掩模框架粘接位置在掩模框架的邊框區域。
10.根據權利要求9所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體與所述掩模框架粘接位置在掩模框架的邊框中心線到掩模框架邊框外邊界之間的區域。
11.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模框架的邊框外邊界與所述掩模本體的外形線重合。
12.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體上鍍有鎳鐵合金鍍層，所述鎳鐵合金鍍層的均勻性為5%～10%。
13.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述鎳鐵合金鍍層表面光亮度為一級光亮。
14.根據權利要求1所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述掩模板本體厚度在0.05～0.1mm，所述圖案開口尺寸為30～180μm。
15.根據權利要求14所述的一種掩模板組件，其特征在于：所述圖案開口尺寸為50～100μm。
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