[發明專利]用于掩模組件間接對位的系統有效
| 申請號： | 201210010670.2 | 申請日： | 2012-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN103205670B | 公開（公告）日： | 2017-03-15 |
| 發明（設計）人： | 魏志凌;高小平;孫倩 | 申請（專利權）人： | 昆山允升吉光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 模組 間接 對位 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于掩模組件間接對位的系統，包括：
對位基臺，具有至少兩個對位銷釘以定位水平放置在對位基臺上的掩模框架；
掩模板，具有滿足蒸鍍要求的開口圖形區域以及處于對角位置且在開口圖形區域外的至少兩個對位孔；
掩模框架，其邊框上與掩模板對位孔相對應的位置上具有對位孔，且掩模框架對位孔的直徑大于相對應的掩模板對位孔的直徑；
對位輔助板，其尺寸與掩模板的尺寸相同且其對位孔與掩模板對位孔的相對位置相同，其中對位輔助板對位孔的直徑與掩模框架上相對應位置處的對位孔的直徑相同；以及
CCD，自上而下捕捉對位輔助板對位孔或掩模板對位孔與相應的掩模框架對位孔的位置圖像以檢測對位。
2.如權利要求1所述的系統，其特征在于，掩模板對位孔的直徑不大于0.5mm。
3.如權利要求1所述的系統，其特征在于，掩模板框架對位孔的直徑為2～3mm。
4.如權利要求1所述的系統，其特征在于，對位輔助板的尺寸大于掩模框架的尺寸,且對位輔助板具有至少兩個掛孔以與對位基臺上的掛鉤配合來固定對位輔助板。
5.如權利要求1所述的系統，其特征在于，對位輔助板的掛孔可以是圓形、方形、半圓形中的一種形狀。
6.如權利要求1所述的系統，其特征在于，對位輔助板的掛孔與掩模板掛孔的尺寸、位置以及形狀相同。
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