[發明專利]一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置無效
| 申請號： | 201210010651.X | 申請日： | 2012-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN103205722A | 公開（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發明（設計）人： | 周文彬;劉幼海;劉吉人 | 申請（專利權）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其包括遮板本體所組成。
2.根據權利要求1所述之一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其特徵在遮板本體一端設有接合邊，其高于另一遮板板厚3mm高度。
3.根據權利要求1所述之一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其特徵在于遮板本體下端設有折邊，折邊寬度10mm。
4.根據權利要求1所述之一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，兩個遮板本體為一組，已接合邊密接，使其變為一整體。
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