[發(fā)明專利]一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210010651.X
• 申請日: 2012-01-15
• 公開（公告）號: CN103205722A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請（專利權(quán)）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;H01J37/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

所屬技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，具體涉及鍍膜后腔壁清潔，以維持真空環(huán)境下鍍膜品質(zhì)。?

背景技術(shù)

現(xiàn)有濺鍍設(shè)備的鍍膜腔室為防止濺鍍源同時濺鍍到腔壁上接采取安裝防鍍遮板來達(dá)到目的，且皆以螺絲固定方式鎖固在腔壁上，此舉雖可固定牢靠，但對于后續(xù)維護防鍍遮板造成相當(dāng)?shù)牟槐憷翩i固螺絲數(shù)量多，會花費相當(dāng)多的時間在于螺絲的拆卸上。?

發(fā)明內(nèi)容

綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置。?

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：?

一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，包括兩個遮板本體、密接邊及下端折邊所構(gòu)成，其中一個遮板本體設(shè)有密接邊且高于遮板厚度3mm，使兩個遮板可接合無間系，同時遮板本體下端設(shè)有折邊，使遮板本體可放至于腔壁上無需任何螺絲固定，同時為增加遮板本體強度，在其內(nèi)部設(shè)有補強片，增加橫向強度。

綜上所述本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)省維修時間。?

具體實施方式

????下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步說明。?

請參閱圖1所示，一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其包括遮板本體11及14、密接邊12、下端折邊13組成，遮板本體11、14，一個遮板本體11設(shè)有密接邊12，可將兩個遮板本體接合且無任何間系，同時設(shè)有下端遮板13，可將遮板本體11、14放置在腔壁上，如此可防止濺鍍源濺鍍在腔壁上。請參閱圖2所示，遮板本體11、14內(nèi)部設(shè)有補強板21可加強橫向強度使遮板不致于變形。?以上所述實例是對本發(fā)明技術(shù)方案的說明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的修改，只要未超出本發(fā)明技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。?

附圖說明

圖1系為本發(fā)明示意圖。?

圖2系為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖?

主要元件符號說明

11．．．遮板本體

12．．．密接邊

13．．．下端折邊

14．．．遮板本體

?21．．．補強板