[發明專利]一種透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統

無效

• 申請號: 201210009019.3
• 申請日: 2012-01-12
• 公開（公告）號: CN103204637A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 何光俊;費紅財;劉建軍;李金成
• 申請（專利權）人: 上海北玻玻璃技術工業有限公司;洛陽北方玻璃技術股份有限公司
• 主分類號: C03C17/245
• 分類號: C03C17/245
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，包括鍍膜室，所述鍍膜室通過鍍膜室頂板和鍍膜室端板形成腔體，在所述端板外側設有真空隔離閥；在所述腔體頂板上安裝有一陰極擋板，在所述陰極擋板上安裝陰極磁控濺射裝置，所述陰極磁控濺射裝置利用磁控濺射進行鍍膜，在所述腔體頂板上還安裝抽氣裝置，將所述腔體內部形成真空；在所述腔體中設置輥道裝置，所述輥道裝置用以傳送玻璃；還包括加熱冷卻系統，所述加熱冷卻系統分別設置在所述輥道裝置的下方并固定所述腔體的主底板上以及所述陰極磁控濺射裝置和所述抽氣裝置之間，所述加熱冷卻系統包括加熱器和冷卻器，用以加熱所述腔體和冷卻元件，所述冷卻器設置在所述加熱器的外側。

2.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，所述抽氣裝置包括前級泵和主泵。

3.根據權利要求1或2所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，所述抽氣裝置包括磁懸浮分子泵、低溫泵、旋片機械泵以及干泵。

4.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，所述加熱器的背面設置有拋光反射板，用以遮擋所述加熱器產生的熱量。

5.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，所述冷卻器包括冷卻銅管和冷卻鋁板，所述冷卻銅管固定在所述冷卻鋁板上。

6.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，所述腔體的主底板下焊接井字板和凹槽型加強筋。

7.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，在所述腔體的頂板上焊接筋板。

8.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，所述輥道裝置包括輥道，所述輥道的間距為200mm。

9.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，在所述抽氣裝置和所述腔體間安裝冷卻裝置，用以降低所述抽氣裝置的進氣口的氣體溫度。

10.根據權利要求1所述的透明導電氧化物鍍膜玻璃鍍膜線真空系統，其特征在于，還包括用以測試腔體真空度的復合規，所述復合規安裝在所述腔體外部并且與所述腔體相連通；還包括用以測試靶位附近真空度的靶位規，所述靶位規與所述陰極磁控濺射裝置相連通并安裝在所述腔體外部與所述靶位相對。