[發(fā)明專利]蝕刻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210008729.4
• 申請(qǐng)日: 2012-01-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103208438B
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余端仁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 余端仁
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽(yáng)

1.一種蝕刻裝置，其包含有一蝕刻組件、一輸送組件及一載具組件，其中：

該蝕刻組件設(shè)有一蝕刻腔體、一上蓋板及一升降裝置，該上蓋板可翻轉(zhuǎn)地設(shè)于該蝕刻腔體頂面且設(shè)有一電極導(dǎo)入裝置、兩氣孔板及一遮板，該電極導(dǎo)入裝置固設(shè)于該上蓋板頂面且朝內(nèi)設(shè)有一電極，兩氣孔板間隔地設(shè)于該上蓋板底面，該遮板間隔地設(shè)于該上蓋板底面且貫穿設(shè)有與該兩氣孔板相對(duì)應(yīng)的穿孔，于兩穿孔間貫穿一供該電極伸入該遮板的開(kāi)孔，該升降裝置固設(shè)于該蝕刻腔體底面且朝上設(shè)有一伸入該蝕刻腔體的升降桿；

該輸送組件設(shè)于該蝕刻組件內(nèi)且于該蝕刻腔體內(nèi)間隔設(shè)置有多個(gè)具有滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸；以及

該載具組件設(shè)于該輸送組件上而可移動(dòng)地設(shè)于該蝕刻腔體內(nèi)并設(shè)有數(shù)個(gè)載盤，各載盤與該輸送組件的滾輪相貼靠且于頂面設(shè)有一極板，該極板貫穿設(shè)有兩間隔設(shè)置并分別與該遮板兩穿孔相對(duì)應(yīng)的承載孔；以及

該蝕刻裝置另設(shè)有一進(jìn)料組件、一出料組件及一閥門組件，其中該進(jìn)料組件設(shè)有一前、后端呈開(kāi)口狀且與該蝕刻腔體前端相結(jié)合的進(jìn)料腔體，該出料組件設(shè)有一與該蝕刻腔體異于該進(jìn)料腔體一端相結(jié)合的出料腔體，而該閥門組件設(shè)于該進(jìn)料組件、該蝕刻組件及該出料組件之間且設(shè)有數(shù)個(gè)閥門裝置，各閥門裝置分別該設(shè)于各腔體之間，該輸送組件于該進(jìn)料組件及該出料組件的各腔體內(nèi)間隔設(shè)置有多個(gè)具有滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，該載具組件設(shè)于該輸送組件上而可移動(dòng)地設(shè)于各腔體之間。

2.如權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其中該進(jìn)料腔體于內(nèi)部?jī)蓚?cè)各設(shè)有一第一導(dǎo)軌，該蝕刻腔體于內(nèi)部?jī)蓚?cè)各設(shè)有一與該進(jìn)料腔體第一導(dǎo)軌直線相對(duì)的第二導(dǎo)軌，該升降裝置的升降桿伸設(shè)于該蝕刻腔體內(nèi)且介于兩第二導(dǎo)軌間，而該出料腔體于內(nèi)部?jī)蓚?cè)各設(shè)有一與該進(jìn)料腔體第一導(dǎo)軌及該蝕刻腔體第二導(dǎo)軌直線相對(duì)的第三導(dǎo)軌，該輸送組件的各滾動(dòng)軸設(shè)于各腔體的兩導(dǎo)軌內(nèi)側(cè)。

3.如權(quán)利要求2所述的蝕刻裝置，其中該上蓋板于該遮板周圍的底面設(shè)有多個(gè)定位桿，各定位桿在異于該上蓋板的底端設(shè)有一套設(shè)蓋，而該載具組件的各載盤于該極板周圍的頂面設(shè)有數(shù)個(gè)定位凸粒，當(dāng)該載盤移動(dòng)至該蝕刻腔體內(nèi)時(shí)，各定位凸粒與該蝕刻組件各定位桿的套設(shè)蓋直線相對(duì)。

4.如權(quán)利要求3所述的蝕刻裝置，其中該上蓋板于兩相對(duì)側(cè)邊分別設(shè)有一與該蝕刻腔體頂面相固設(shè)結(jié)合的翻轉(zhuǎn)壓缸軸，使該上蓋板可相對(duì)該蝕刻腔體翻轉(zhuǎn)，且該上蓋板于頂面固設(shè)有一與該電極導(dǎo)入裝置相連接的輸出功率單元。

5.如權(quán)利要求4所述的蝕刻裝置，其中該兩氣孔板分別于該上蓋板頂面設(shè)有一用以輸送氣體的輸送管，使氣體可經(jīng)由輸送管及氣孔板而進(jìn)入該蝕刻腔體內(nèi)。

6.如權(quán)利要求5所述的蝕刻裝置，其中該遮板設(shè)有數(shù)個(gè)與該上蓋板相固設(shè)結(jié)合的固定桿，使該遮板間隔地設(shè)于該上蓋板的底面。

7.如權(quán)利要求6所述的蝕刻裝置，其中該蝕刻組件另設(shè)有一與該蝕刻腔體相結(jié)合的高真空泵浦，使該蝕刻腔體內(nèi)部維持于一高真空的狀態(tài)。

8.如權(quán)利要求7所述的蝕刻裝置，其中各閥門裝置設(shè)有一閥門及一閥門氣壓缸，通過(guò)閥門氣壓缸的作動(dòng)，使兩相鄰腔體間呈現(xiàn)相通或封閉的狀態(tài)，而該輸送組件各轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端套設(shè)有一傳動(dòng)輪，該傳動(dòng)輪可為一鏈輪或一皮帶輪。

9.如權(quán)利要求8所述的蝕刻裝置，其中該蝕刻裝置在異于該蝕刻腔體的出料腔體一側(cè)設(shè)有一清潔腔體，從而對(duì)于蝕刻后的晶圓進(jìn)行表面清洗。