[發明專利]金屬掩模板面形測量系統及其測量方法無效
| 申請號： | 201210006843.3 | 申請日： | 2012-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN103206924A | 公開（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發明（設計）人： | 魏志凌;高小平;張煒平 | 申請（專利權）人： | 昆山允升吉光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 模板 測量 系統 及其 測量方法 | ||
1.一種金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，包括：控制系統，通過軟件自動完成對所述金屬掩模板的測量；測量元件，對所述金屬掩模板板面進行測量，并將測量數據及時反饋回給數據處理系統；數據處理系統，根據測試的數據進行模擬，從而得到金屬掩膜板的面形。
2.根據權利要求1所述的金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，所述測量元件為非接觸式光學元件。
3.根據權利要求2所述的金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，所述測量元件為激光高度傳感器。
4.根據權利要求1所述的金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，所述控制系統控制所述測量元件，對所述金屬掩模板板面進行掃描式測量。
5.根據權利要求1所述的金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，所述控制系統控制所述測量元件，對所述金屬掩模板板面的指定區域進行測量。
6.根據權利要求1所述的金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，所述數據處理系統在測試進行的過程中，根據測試的數據進行模擬，從而得到金屬掩膜板的面形。
7.根據權利要求1所述的金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，所述數據處理系統在測試完畢后，根據測試的數據進行模擬，從而得到金屬掩膜板的面形。
8.根據權利要求1所述的金屬掩模板面形測量系統，其特征在于，測量系統還包括顯示器，用于顯示通過數據處理系統處理得到的面形圖。
9.一種使用權利要求1至權利要求8所述的金屬掩模板面形測量系統進行測量的方法。
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