[發明專利]ESD保護器件以及用于形成ESD保護器件的方法

有效

• 申請號: 201210005674.1
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN102593804A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 蔡銘憲
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H02H9/02
• 分類號: H02H9/02;H02H9/04;H01L27/02
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;房嶺梅

相關申請的交叉參考

本發明涉及以下共同轉讓的美國專利申請，將該美國專利申請的全部內容結合于此作為參考：美國專利申請No.12/985,948，申請日為2011年1月6日，標題為“ESD?Protection?Devices?and?Methods?For?Forming?ESD?Protection?Devices”(代理案號No.2010-1108/24061.1686)；以及美國專利申請No.12/986,303，申請日為2011年1月7日，標題為“ESD?Protection?Devices?and?Methods?For?Forming?ESD?Protection?Devices”(代理案號No.2010-1109/24061.1687)。

技術領域

本發明涉及制造電子器件的方法，更具體地來說，涉及靜電放電(ESD)保護器件以及用于形成ESD保護器件的方法。

背景技術

半導體集成電路(IC)工業經歷了快速發展。IC材料和設計上的技術進步造就了數代IC，每一代IC都比上一代IC具有更小以及更復雜的電路。這些電路對于靜電放電(ESD)電流比較敏感。因此，就要利用ESD保護來防止和減小由ESD電流所導致的IC損壞。傳統上，一些ESD保護器件具有寄生電容，該寄生電容大到足以顯著降低所保護的電路的射頻(RF)性能。

因此，盡管現有的ESD保護器件通常足以達到其預期目的，但是這些ESD保護器件在每個方面并不完全令人滿意。

發明內容

本發明提供了多個實施例。本發明的一個實施例涉及一種電路，該電路具有靜電放電(ESD)保護器件以及被保護電路，該被保護電路與ESD保護器件相通信。被保護電路具有正常工作波長。ESD保護器件具有第一電感器，處于信號輸入端和互補電源線之間。第一電感器的長度小于1/4正常工作波長。ESD保護器件還具有第一電容器，處于信號輸入端和被保護電路之間。第一電感器和第一電容器為被保護電路提供匹配阻抗。

其中，被保護電路包括：低噪聲放大器(LNA)。

其中，ESD保護器件包括在被保護電路的匹配網絡的內核設計中。

其中，第一電感器包括在變壓器中，變壓器連接到信號輸入端和互補電源線。

其中，第一電感器包括傳輸線。

其中，第一電感器包括螺旋式電感器。

其中，ESD保護器件進一步包括：第二電容器，連接到互補電源線，以及其中，第二電容器和第一電感器連接到第一電容器的相對端。

其中，ESD保護器件進一步包括：第二電感器，與第一電容器串聯。

其中，ESD保護器件進一步包括：第二電感器，連接到互補電源線，以及其中，第一電感器和第二電感器連接到第一電容器的相對端。

該電路進一步包括：功率鉗位器，連接到ESD保護電路。

其中，被保護電路處理多個信號，多個信號選自：RF信號；以及毫米波信號。

本發明的另一實施例涉及一種電路，該電路具有靜電放電(ESD)保護器件，設置在被保護電路和信號輸入端之間。該信號輸入端接收具有一波長的信號。ESD保護器件包括：第一電感器，其長度小于波長的1/4，該第一電感器提供從信號輸入端到互補電源線的ESD電流路徑。ESD保護器件還具有第一電容器，位于信號輸入端和被保護電路之間。ESD保護電路是用于被保護電路的阻抗匹配網絡的一部分。

其中，信號輸入端包括：射頻(RF)焊盤和毫米波輸入焊盤中的至少一種。

其中，被保護電路具有的工作頻率大于15GHz。

其中，第一電感器包括在變壓器中，變壓器連接到信號輸入端和互補電源線。

其中，第一電感器包括一種選自以下類型的電感器：螺旋式電感器；以及傳輸線電感器。

該電路進一步包括以下的至少一種：第二電感器，連接到互補電源線，其中，第二電容器和第一電感器連接到第一電容器的相對端；第二電感器，與第一電容器串聯；以及第二電感器，連接到互補電源線，其中，第一電感器和第二電感器連接到第一電容器的相對端。

本發明的又一實施例涉及一種制造器件的方法。該方法包括：在電源線和互補電源線之間制造被保護器件；以及在信號輸入端和被保護器件之間制造靜電放電(ESD)保護器件。制造ESD保護器件包括：在信號輸入端和互補電源線之間設置第一電感器以及在信號輸入端和被保護器件之間設置第一電容器。第一電感器的長度小于被保護器件的正常工作波長的1/4。