[發明專利]ESD保護器件以及用于形成ESD保護器件的方法

有效

• 申請號: 201210005674.1
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN102593804A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 蔡銘憲
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H02H9/02
• 分類號: H02H9/02;H02H9/04;H01L27/02
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;房嶺梅

1.一種電路，包括：

靜電放電(ESD)保護器件；以及

被保護電路，與所述ESD保護器件相通信，所述被保護電路具有正常工作波長；

其中，所述ESD保護器件包括：

第一電感器，處于信號輸入端和互補電源線之間，所述第一電感器的長度小于所述正常工作波長的1/4；以及

第一電容器，處于所述信號輸入端和所述被保護電路之間，其中，所述第一電感器和所述第一電容器為所述被保護電路提供匹配阻抗。

2.根據權利要求1所述的電路，其中，所述被保護電路包括：低噪聲放大器(LNA)。

3.根據權利要求2所述的電路，其中，所述ESD保護器件包括在所述被保護電路的匹配網絡的內核設計中。

4.根據權利要求1所述的電路，其中，所述第一電感器包括在變壓器中，所述變壓器連接到所述信號輸入端和所述互補電源線。

5.根據權利要求1所述的電路，其中，所述第一電感器包括傳輸線。

6.根據權利要求1所述的電路，其中，所述第一電感器包括螺旋式電感器。

7.根據權利要求1所述的電路，其中，所述ESD保護器件進一步包括：第二電容器，連接到所述互補電源線，以及其中，所述第二電容器和所述第一電感器連接到所述第一電容器的相對端。

8.根據權利要求1所述的電路，其中，所述ESD保護器件進一步包括：第二電感器，與所述第一電容器串聯。

9.一種電路，包括：

靜電放電(ESD)保護器件，設置在被保護電路和信號輸入端之間，所述信號輸入端接收具有一波長的信號，所述ESD保護器件包括：

第一電感器，其長度小于所述波長的1/4，所述第一電感器提供從所述信號輸入端到所述互補電源線的ESD電流路徑；

第一電容器，位于所述信號輸入端和所述被保護電路之間，其中，所述ESD保護電路是所述被保護電路的阻抗匹配網絡的一部分。

10.一種制造器件的方法，所述方法包括：

在電源線和互補電源線之間制造被保護器件；以及

在信號輸入端和所述被保護器件之間制造靜電放電(ESD)保護器件，其中，制造所述ESD保護器件包括：

在所述信號輸入端和所述互補電源線之間設置第一電感器，其中，所述第一電感器的長度小于被保護器件的正常工作波長的1/4；以及

在所述信號輸入端和所述被保護器件之間設置第一電容器。