[發明專利]一種平衡硅片夾持機構

有效

• 申請號: 201210004898.0
• 申請日: 2012-01-09
• 公開（公告）號: CN102543818A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 凱里·雷;李偉;張豹;吳儀;王銳廷
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝;王瑩

1.一種平衡硅片夾持機構，其特征在于，包括：旋轉軸及可在所述旋轉軸帶動下旋轉的卡盤(3)，所述卡盤(3)包括三個夾持臂，其中兩個所述夾持臂的端部為固定夾持元件(10)，另一個所述夾持臂的端部為可調夾持件(9)；

所述可調夾持件(9)可相對于與所述卡盤(3)的連接點擺動，用于夾持硅片(2)，其頂端設置有用于與所述硅片(2)表面接觸的夾持元件(4)，其底端設置有重量可調的平衡機構。

2.如權利要求1所述的平衡硅片夾持機構，其特征在于，所述平衡機構包括位于所述可調夾持件(9)底部的孔或槽及其內設置的彈簧(5)，所述彈簧(5)的另一端連接有平衡量塊(6)，所述孔或槽的開口處設置有塞子(7)。

3.如權利要求2所述的平衡硅片夾持機構，其特征在于，所述塞子(7)在所述孔或槽中的進給量可調。

4.如權利要求1所述的平衡硅片夾持機構，其特征在于，所述可調夾持件(9)夾持臂的端部設置有可調夾持件回止件(8)，所述可調夾持件回止件(8)的端部與豎直狀態的所述可調夾持件(9)之間的間距為可調，其用于限制所述可調夾持件(9)的擺動。

5.如權利要求1所述的平衡硅片夾持機構，其特征在于，所述夾持元件(4)豎直狀態下用于與所述硅片(2)表面接觸的安置面(11)為傾斜向下。

6.如權利要求1所述的平衡硅片夾持機構，其特征在于，所述三個夾持臂之間的夾角互為120°。