[發明專利]一種曝光機的對位驗證方法

有效

• 申請號: 201210003895.5
• 申請日: 2012-01-06
• 公開（公告）號: CN102520593A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 貝俊濤;陳曉璇;陳建華;李雪洽;蘇維輝;楊曉新;林蓄流;林炳亮
• 申請（專利權）人: 汕頭超聲印制板公司;汕頭超聲印制板（二廠）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;G03F1/42
• 代理公司: 汕頭市潮睿專利事務有限公司 44230
• 代理人: 鄭頌雄;朱明華

技術領域

本發明涉及一種曝光機的對位驗證方法。

背景技術

隨著電子技術的快速發展，電子產品正向小型化、高可靠性方向不斷發展，所以，用于電子產品中的印制電路板也向小型化、高密度方向不斷發展，因此，印制電路板上的路線變得更加精細，印制電路板上的焊盤也變得更加密集，這樣，在印制電路板的曝光制程中，印制電路板對位精度的要求也變得越來越高。

目前，曝光機的對位驗證，要等到驗證板蝕刻出來后，再利用X光檢查機，通過原來標靶的同心度來判斷是否存在錯位，同時，曝光機的現行對位驗證方法非常粗糙，只能得出“錯位”或者“沒有錯位”兩個結論，所以，在曝光機的現行對位驗證方法中，對位精度是不可測量的，因而無法知道對位精度到底是多少。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種曝光機的對位驗證方法，本對位驗證方法能夠實現對位精度的量化，從而知道對位精度到底是多少。

為了解決上述技術問題，本發明采用的技術方案如下：

一種曝光機的對位驗證方法，包括以下步驟：

(一)下菲林的設計：

在下菲林上設有對位圓排列結構，上述對位圓排列結構包括多個對位圓，上述多個對位圓中含有一個對位基準圓，上述多個對位圓相互外離，上述多個對位圓的半徑相同、圓心直線排列、圓心距相等；

(二)上菲林的設計：

運用同心圓的方法，在上菲林上設有驗證圓排列結構，上述驗證圓排列結構包括多個驗證圓，上菲林上各個驗證圓的圓心與下菲林上各個對位圓的圓心相對應；上述多個驗證圓中含有一個驗證基準圓，上述驗證基準圓的半徑、圓心位置與對位基準圓的半徑、圓心位置相同；上述多個驗證圓相互外離，以驗證基準圓為起點，上述多個驗證圓的半徑依次增大；

(二)測量方法：

(1)將上述下菲林安裝在曝光機的下臺面上，在曝光機的自動對位過程中，上述下菲林固定不動；

(2)將上述上菲林安裝在曝光機的上臺面上，在曝光機的自動對位過程中，上述上菲林可相對下臺面上的下菲林移動，當曝光機自動對位后，上菲林上的各個驗證圓與下菲林上的各個對位圓重疊，上菲林與下菲林完成對位；

(3)上菲林和下菲林對位精度的測量：

當上菲林和下菲林完成對位后，以驗證基準圓為起點，從小到大觀察上菲林上各個驗證圓與下菲林上各個對位圓的重合程度，從而判斷上菲林和下菲林的對位精度是否達到精度要求；

如果驗證基準圓與對位基準圓重合、除驗證基準圓以外的其它各個驗證圓分別與對應的對位圓構成同心圓，即各個驗證圓分別與對應的對位圓不內切，則上菲林和下菲林的對位精度達到要求；

如果驗證基準圓與對位基準圓不重合、除驗證基準圓以外的其它各個驗證圓分別與對應的對位圓不能構成同心圓，則上菲林和下菲林的對位達不到精度要求；此時，以驗證基準圓為起點，逐個觀察各個驗證圓，找出與對位圓內切的驗證圓，相互內切的驗證圓與對位圓之間的半徑差值即為上菲林和下菲林的對位偏移量；

(4)曝光機的對位驗證：

如果上菲林和下菲林的對位精度達到要求，則曝光機的對位精度也達到要求；

如果上菲林和下菲林的對位精度達不到要求，則上菲林和下菲林的對位偏移量就是曝光機的對位偏移量。

在印制電路板內層圖形的轉移制程中，由于印制電路板的圖形是由菲林轉移而來，所以，印制電路板其層間圖形的重合度，取決于曝光時上菲林和下菲林的對位精度，也即是取決于曝光機的對位精度，通過測量上菲林和下菲林的對位精度，即可達到驗證曝光機對位精度的要求，也能夠得到曝光機的對位偏移量；

同時，通過測量上菲林和下菲林的對位精度，也可達到驗證印制電路板對位精度的要求。

為了能夠對曝光機的整個板面進行對位驗證，所述下菲林的四個角上分別設有對位圓排列結構，上菲林的四個角上分別設有驗證圓排列結構，上菲林各個角上的驗證圓排列結構分別與下菲林各個角上的對位圓排列結構相對應。

通過上菲林四個角上的驗證圓排列結構和下菲林四個角上的對位圓排列結構的同時配合使用，從而從不同角度上對曝光機進行對位驗證，從而達到對曝光機的整個板面進行對位驗證的目的。

作為本發明的一種優選設計方案，所述對位圓排列結構的對位圓和驗證圓排列結構的驗證圓均直線形排列，對位圓排列結構的對位基準圓和驗證圓排列結構的驗證基準圓均位于直線形的首位上。

作為本發明的另一種優選設計方案，所述對位圓排列結構的對位圓和驗證圓排列結構的驗證圓均直角形排列，對位圓排列結構的對位基準圓和驗證圓排列結構的驗證基準圓均位于直角形的頂角上。