[發明專利]一種曝光機的對位驗證方法

有效

• 申請號: 201210003895.5
• 申請日: 2012-01-06
• 公開（公告）號: CN102520593A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 貝俊濤;陳曉璇;陳建華;李雪洽;蘇維輝;楊曉新;林蓄流;林炳亮
• 申請（專利權）人: 汕頭超聲印制板公司;汕頭超聲印制板（二廠）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;G03F1/42
• 代理公司: 汕頭市潮睿專利事務有限公司 44230
• 代理人: 鄭頌雄;朱明華

1.一種曝光機的對位驗證方法，包括以下步驟：

（一）下菲林的設計：

在下菲林上設有對位圓排列結構，上述對位圓排列結構包括多個對位圓，上述多個對位圓中含有一個對位基準圓，上述多個對位圓相互外離，上述多個對位圓的半徑相同、圓心直線排列、圓心距相等；

（二）上菲林的設計：

運用同心圓的方法，在上菲林上設有驗證圓排列結構，上述驗證圓排列結構包括多個驗證圓，上菲林上各個驗證圓的圓心與下菲林上各個對位圓的圓心相對應；上述多個驗證圓中含有一個驗證基準圓，上述驗證基準圓的半徑、圓心位置與對位基準圓的半徑、圓心位置相同；上述多個驗證圓相互外離，以驗證基準圓為起點，上述多個驗證圓的半徑依次增大；

（二）測量方法：

（1）將上述下菲林安裝在曝光機的下臺面上，在曝光機的自動對位過程中，上述下菲林固定不動；

（2）將上述上菲林安裝在曝光機的上臺面上，在曝光機的自動對位過程中，上述上菲林可相對下臺面上的下菲林移動，當曝光機自動對位后，上菲林上的各個驗證圓與下菲林上的各個對位圓重疊，上菲林與下菲林完成對位；

（3）上菲林和下菲林對位精度的測量：

當上菲林和下菲林完成對位后，以驗證基準圓為起點，從小到大觀察上菲林上各個驗證圓與下菲林上各個對位圓的重合程度，從而判斷上菲林和下菲林的對位精度是否達到精度要求；

如果驗證基準圓與對位基準圓重合、除驗證基準圓以外的其它各個驗證圓分別與對應的對位圓構成同心圓，即各個驗證圓分別與對應的對位圓不內切，則上菲林和下菲林的對位精度達到要求；

如果驗證基準圓與對位基準圓不重合、除驗證基準圓以外的其它各個驗證圓分別與對應的對位圓不能構成同心圓，則上菲林和下菲林的對位達不到精度要求；此時，以驗證基準圓為起點，逐個觀察各個驗證圓，找出與對位圓內切的驗證圓，相互內切的驗證圓與對位圓之間的半徑差值即為上菲林和下菲林的對位偏移量；

（4）曝光機的對位驗證：

如果上菲林和下菲林的對位精度達到要求，則曝光機的對位精度也達到要求；

如果上菲林和下菲林的對位精度達不到要求，則上菲林和下菲林的對位偏移量就是曝光機的對位偏移量。

2.根據權利要求1所述的曝光機的對位驗證方法，其特征在于：所述下菲林的四個角上分別設有對位圓排列結構，上菲林的四個角上分別設有驗證圓排列結構，上菲林各個角上的驗證圓排列結構分別與下菲林各個角上的對位圓排列結構相對應。

3.根據權利要求1所述的曝光機的對位驗證方法，其特征在于：所述對位圓排列結構的對位圓和驗證圓排列結構的驗證圓均直線形排列，對位圓排列結構的對位基準圓和驗證圓排列結構的驗證基準圓均位于直線形的首位上。

4.根據權利要求1所述的曝光機的對位驗證方法，其特征在于：所述對位圓排列結構的對位圓和驗證圓排列結構的驗證圓均直角形排列，對位圓排列結構的對位基準圓和驗證圓排列結構的驗證基準圓均位于直角形的頂角上。

5.根據權利要求1所述的曝光機的對位驗證方法，其特征在于：所述上菲林上多個驗證圓的半徑依次等比例增大。

6.根據權利要求5所述的曝光機的對位驗證方法，其特征在于：所述上菲林上驗證圓與對應的對位圓的半徑差值依次等比例增大。

7.根據權利要求6所述的曝光機的對位驗證方法，其特征在于：所述半徑差值標注在上菲林上且位于相應驗證圓的旁邊。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的曝光機的對位驗證方法，其特征在于：當上菲林和下菲林完成對位后，根據驗證圓與對位圓的內切方向，可以判斷上菲林和下菲林對位的偏向，上菲林和下菲林對位的偏向也是曝光機對位的偏向。