[發(fā)明專利]基板檢查系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210003880.9
• 申請(qǐng)日: 2012-01-04
• 公開（公告）號(hào): CN102608121A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡平裕幸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 奧林巴斯株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于對(duì)在液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示器(PDP)等平板顯示器(FPD)的制造中所使用的大型基板進(jìn)行檢查的基板檢查系統(tǒng)。

背景技術(shù)

以往，在對(duì)平板顯示器所使用的基板進(jìn)行的檢查中存在如下所述的目視檢查(人工宏觀檢查)：在將基板立起成規(guī)定角度的狀態(tài)下從基板表面?zhèn)日丈浜暧^照明光而利用目視根據(jù)來自基板的反射光的散射狀況來判斷缺陷，或者，在將基板垂直地立起的狀態(tài)下從基板背面?zhèn)日丈浔彻?back?light)照明光而利用目視根據(jù)透射光的散射狀況來判斷缺陷。另外，存在利用顯微鏡等微觀檢查部將基板上的任意部位放大而觀察缺陷的微觀檢查。

不過，隨著近年來的平板顯示器的大型化，切割為多個(gè)平板顯示器的母玻璃基板也大型化，例如，出現(xiàn)了1500mm×1800mm以上的大型母玻璃基板。隨著該母玻璃的大型化，包括人工宏觀檢查裝置及微觀檢查裝置在內(nèi)的基板的生產(chǎn)線也大型化。

因此，提出有通過用簡單的裝置進(jìn)行人工宏觀檢查及微觀檢查而謀求節(jié)省空間的技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2)。這樣的用于進(jìn)行人工宏觀檢查及微觀檢查的裝置如下這樣設(shè)置：例如，具有用于使微觀檢查裝置的基板搭載部(基板保持件)立起到作業(yè)者側(cè)的驅(qū)動(dòng)部，在使基板搭載部立起的狀態(tài)下從基板的上方照射宏觀照明光而利用目視進(jìn)行檢查。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2003-344294號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2000-28537號(hào)公報(bào)

不過，在以往的人工宏觀檢查過程中，在使保持有基板的基板保持件立起成適于檢查者的目視觀察的傾斜角度的狀態(tài)下從基板的上方照射宏觀照明光而檢測反射光，或者，為了在使基板保持件鉛垂地立起的狀態(tài)下從基板的后方照射背光照明光而檢測透射光，基板保持件優(yōu)選使用僅保持基板的周緣的、中空結(jié)構(gòu)的構(gòu)件。

但是，使用中空的基板保持件時(shí)，在基板中間部的基板保持力較弱，因此，基板易于發(fā)生晃動(dòng)，在進(jìn)行放大觀察的微觀檢查過程中發(fā)生影像晃動(dòng)等不良情況。因此，在微觀檢查過程中，優(yōu)選使用用于水平地保持基板整體的由一張板形成的基板保持件。

這樣，用簡單的裝置進(jìn)行人工宏觀檢查和微觀檢查時(shí)，如果優(yōu)先進(jìn)行微觀檢查，則應(yīng)該選擇由一張板形成的基板保持件。使用一張板的基板保持件時(shí)，不僅因玻璃基板透明而基板保持件上的劃痕等可見而成為誤檢測的主要原因，而且存在不能進(jìn)行利用背光照明進(jìn)行的目視檢查這樣的問題。

而且，在使用共用的基板保持件進(jìn)行人工宏觀檢查和微觀檢查時(shí)，通過使微觀檢查裝置的基板搭載部立起而進(jìn)行人工宏觀檢查，因此，不能同時(shí)進(jìn)行人工宏觀檢查和微觀檢查，從而也產(chǎn)生檢查生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變長、進(jìn)而產(chǎn)生不能提高基板的生產(chǎn)效率這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的課題在于鑒于上述以往的情況、提供一種不降低生產(chǎn)效率及檢查性能就能夠謀求節(jié)省空間的大型基板用的基板檢查系統(tǒng)。

本發(fā)明提供一種基板檢查系統(tǒng)，其用于用多種檢查方法對(duì)被檢查對(duì)象基板進(jìn)行檢查，在該基板檢查系統(tǒng)中，包括：自動(dòng)檢查裝置，其用于利用攝像部拍攝上述被檢查對(duì)象基板而進(jìn)行檢查；架臺(tái)，其具有橫跨上述自動(dòng)檢查裝置的門型形狀的腿部；人工宏觀檢查裝置，其配置在上述架臺(tái)上，用于直視上述被檢查對(duì)象基板而進(jìn)行目視檢查；基板輸送機(jī)器人，其用于對(duì)于上述自動(dòng)檢查裝置和上述人工宏觀檢查裝置輸入、輸出上述被檢查對(duì)象基板，上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺(tái)獨(dú)立于上述自動(dòng)檢查裝置地配置在上述自動(dòng)檢查裝置的上方。

在本發(fā)明中，人工宏觀檢查裝置與自動(dòng)檢查裝置是相互獨(dú)立的裝置，因此，能夠同時(shí)進(jìn)行利用人工宏觀檢查裝置進(jìn)行的檢查和利用自動(dòng)檢查裝置進(jìn)行的檢查，不會(huì)降低兩檢查的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，即使將人工宏觀檢查裝置配置在自動(dòng)檢查裝置的上方而謀求節(jié)省空間，生產(chǎn)效率也不降低。

而且，人工宏觀檢查裝置與自動(dòng)檢查裝置能夠不使用共用的基板保持部而是使用適于各檢查裝置的基板保持部，因此，檢查性能不降低。

因此，采用本發(fā)明，不降低生產(chǎn)效率及檢查性能就能夠謀求基板檢查系統(tǒng)的節(jié)省空間。

附圖說明

圖1是透視地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主視圖。

圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)的基板輸入狀態(tài)的概略左視圖。

圖3是透視地表示本發(fā)明的其他的實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主視圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)進(jìn)行說明。

圖1是透視地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)1的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主視圖。