[發明專利]基板檢查系統

無效

• 申請號: 201210003880.9
• 申請日: 2012-01-04
• 公開（公告）號: CN102608121A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 岡平裕幸
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種基板檢查系統，其用于用多種檢查方法對被檢查對象基板進行檢查，其特征在于，

該基板檢查系統包括：

自動檢查裝置，其用于利用攝像部拍攝上述被檢查對象基板而進行檢查；

架臺，其具有橫跨上述自動檢查裝置的門型形狀的腿部；

人工宏觀檢查裝置，其配置在上述架臺上，用于直視上述被檢查對象基板而進行目視檢查；

基板輸送機器人，其用于對于上述自動檢查裝置和上述人工宏觀檢查裝置輸入、輸出上述被檢查對象基板，

上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺獨立于上述自動檢查裝置地配置在上述自動檢查裝置的上方。

2.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述人工宏觀檢查裝置具有：基板保持部，其用于保持上述被檢查對象基板；一對框架，其具有規定的角度地配置，用于以上述基板保持部能夠滑動的方式支承上述基板保持部。

3.根據權利要求2所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述框架的基端側延伸到比上述自動檢查裝置的最大高度位置低的位置。

4.根據權利要求3所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述自動檢查裝置具有機架，該機架的上端作為上述最大高度位置，該機架用于支承攝像部，該機架固定設置在比上述基板輸送機器人的上下移動動作空間靠外側的位置，上述框架的基端側延伸到不與上述機架及上述上下移動動作空間相干涉的位置。

5.根據權利要求3所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述自動檢查裝置具有機架，該機架的上端作為上述最大高度位置，該機架用于支承攝像部，該機架以能沿著上述被檢查對象基板的輸入空間移動的方式設置，上述框架的基端部延伸到不與上述機架的移動區域相干涉的位置。

6.根據權利要求2所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述框架的基端側推出到比上述自動檢查裝置的工作臺靠外側的位置。

7.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述基板保持部的至少一部分移動到位于比上述自動檢查裝置的上端靠下方的位置。

8.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述人工宏觀檢查裝置具有用于供檢查者進行目視觀察的檢查作業臺，

該檢查作業臺配置在不與上述自動檢查裝置相干涉的空間區域中。

9.根據權利要求8所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述檢查作業臺配置在上述自動檢查裝置與上述人工宏觀檢查裝置錯開地配置的空間區域中。

10.根據權利要求8所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述自動檢查裝置具有用于安裝檢查頭的移動型機架，

上述檢查作業臺配置在比上述移動型機架的移動空間靠上方的空間區域中。

11.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述自動檢查裝置借助除振臺設置在地面上，

上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺設置在地面上。

12.根據權利要求1所述的基板檢查系統，其特征在于，

上述基板輸送機器人具有能夠向被配置在1層的上述自動檢查裝置和被配置在2層的上述人工宏觀檢查裝置移動的手臂，

沿著上述手臂的上下移動方向，使上述人工宏觀檢查裝置的基板輸入空間配置在上述自動檢查裝置的基板輸入空間之上。