[發明專利]機械手手臂結構

無效

• 申請號: 201210003798.6
• 申請日: 2012-01-06
• 公開（公告）號: CN103192407A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 劉長斌;王鳳利;韓立志;曲道奎;徐方;姜飛;李學威;徐傳勝
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B25J18/00
• 分類號: B25J18/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

技術領域

本發明涉及一種手臂結構，尤指一種單自由度真空機械手手臂的肩部結構。

背景技術

在現有的單自由度真空機械手的手臂結構中，其大臂肩部的帶輪固定方式通常為直接固定于安裝法蘭上，且肩部回轉軸承的內外圈在軸向上是相對剛性緊固的，因此降低了軸承的使用壽命，即降低了單自由度真空機械手的整體壽命。

另外，在現有技術中，真空機械手抓取硅片校準工位時，無法實現調整和補償工位方向，從而導致必須根據工位來調節旋轉法蘭安裝的方向，不僅浪費時間，而且浪費人力、物力。

發明內容

鑒于以上內容，有必要提供一種能夠提高使用壽命且可以調整機械手工位方向的機械手手臂結構。

一種機械手手臂結構，其包括一機械手大臂及一與所述機械手大臂一端轉動相連的機械手小臂，所述機械手大臂用于控制所述機械手小臂通過抓取一片盒內的硅片來校準工位，所述機械手大臂具有一肩部，所述肩部包括一位于所述肩部中心的轉動軸、一位于所述轉動軸一側的同步帶輪、一與所述轉動軸相連位于所述肩部底端的固定法蘭、一固定于所述同步帶輪與所述固定法蘭之間的調節塊、一固定于所述固定法蘭上的調節支座及至少一位于所述調節支座上用于調節所述調節塊的方向的調節螺釘，所述調節塊可吸收所述機械手大臂的肩部軸承內外圈壓緊所產生的應力，所述機械手手臂結構通過所述調節螺釘調節所述調節塊的方向來校準工位。

相對現有技術，本發明將機械手大臂肩部的回轉軸承內外圈的壓緊方式由剛性變為柔性，從而吸收由于軸承內外圈壓緊所產生的應力，消除了單自由度真空機械手的大臂肩部回轉軸承的內外圈應力，提高了使用壽命；且實現了單自由度真空機械手校準工位時需要的調節，解決了真空機械手抓取硅片校準工位時的調整和補償問題。

附圖說明

圖1為本發明機械手手臂結構較佳實施方式的結構圖。

圖2為圖1中沿A所示方向的手臂肩部剖視圖。

圖3為本發明機械手手臂結構較佳實施方式的俯視剖面圖。

圖4為圖3中B處的放大圖。

主要元件符號說明

??片盒??1??硅片??2??轉動軸??3??固定法蘭??4??調節塊??5??調節螺釘??6??調節支座??7??固定螺釘??8??同步帶輪??9??機械手手臂結構??10??機械手大臂??30??肩部??31??轉動部??33??機械手小臂??50