[發明專利]透光夾持式預對準機

無效

• 申請號: 201210002296.1
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN103192463A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 張鵬;李學威;曲道奎;徐方;孫義田;溫燕修;何書龍;何偉全
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

技術領域

本發明涉及一種可識別晶圓缺口(切邊)及圓心的預對準機，尤指一種透光夾持式預對準機。

背景技術

現有的邊緣夾持式預對準機(aligner)大多為卡爪式，常見的有二爪式、三爪式及四爪式。用來檢測晶圓缺口的傳感器多為透射式傳感器(例如LED或激光透過式傳感器)。當卡爪夾持晶圓時，任何一個爪的爪臂都有可能遮擋住晶圓缺口。這樣，當晶圓缺口旋轉至傳感器發射的光線位置時，會因為卡爪爪臂的遮擋而無法被識別。現有專利大多提到了避免卡爪末端接觸單元遮擋晶圓缺口的方法，例如每個爪的末端至少布置兩個接觸單元，并且其間距大于晶圓缺口尺寸，而并未提到卡爪爪臂對傳感器光線的遮擋的直接解決辦法。這些專利采取的解決辦法大多是先使晶圓旋轉一周，看傳感器信號有無變化或信號變化是否符合要求來判斷晶圓缺口是否被卡爪爪臂遮擋，若被遮擋，則放下晶圓，待卡爪旋轉一定角度后再重新夾持晶圓繼續檢測。這樣會使控制程序更加復雜，并降低了預對準的效率。

發明內容

鑒于以上內容，有必要提供一種透光夾持式預對準機，能夠避免由于預對準機卡爪遮擋晶圓缺口及傳感器光線帶來的重新夾持晶圓的問題。

一種透光夾持式預對準機，所述透光夾持式預對準機包括一機座、一裝設在所述機座上的卡爪以及一檢測所述晶圓上的缺口的傳感器，所述卡爪包括至少兩個卡爪接觸單元、至少兩個卡爪臂以及至少兩個與所述卡爪接觸單元和所述卡爪臂相連接的連接部，所述卡爪接觸單元夾持所述晶圓，所述卡爪臂支撐所述晶圓，所述連接部是透光材料制成，所述傳感器包括一光線發射端以及一光線接收端，所述光線發射端發射光線以檢測所述缺口位置。

相對現有技術，本發明透光夾持式預對準機的較佳實施方式中，透光材料采用有機玻璃，采用焊接方式或螺紋連接等與其他零部件連接；而傳感器采用發射光線可透過所述的有機玻璃的透過式激光傳感器，并可對光信號的微弱變化進行補償。不必擔心晶圓缺口及傳感器發射光線被卡爪爪臂遮擋住，也不必做任何調整來重新夾持晶圓，簡化了控制程序，并可有效提高預對準的效率。能夠避免由于預對準機卡爪遮擋晶圓缺口及傳感器光線帶來的重新夾持晶圓的問題。

附圖說明

圖1為本發明透光夾持式預對準機較佳實施方式的立體組裝圖。

圖2為圖1中的卡爪的立體圖。

圖3為圖1中的A的放大圖。

主要元件符號說明

機座????????????1

卡爪????????????2

撐托????????????3

傳感器??????????4

光線發射端??????5

光線????????????6

光線接收端??????7

卡爪接觸單元????8

連接部???????9

卡爪臂???????10

卡爪轉軸?????11

晶圓?????????12

缺口?????????13

具體實施方式

請參閱圖1-3，本發明透光夾持式預對準機較佳實施方式用于夾持晶圓邊緣并識別晶圓缺口(切邊)及圓心。所述透光夾持式預對準機包括一機座1、一裝設在所述機座1上的卡爪2、一設于所述機座1上的撐托3以及一與所述撐托3相對的傳感器4。所述卡爪2、所述撐托3、所述傳感器4設在所述機座1的同一面。

請繼續參閱圖2，所述機座1呈一立方體。所述卡爪2裝設在所述機座1上，所述卡爪2包括至少兩個干卡爪接觸單元8、至少兩個連接部9、至少兩個卡爪臂10以及一卡爪轉軸11。所述卡爪接觸單元8呈一鉤狀，用以夾持一晶圓12。所述連接部9呈一小立方體形狀，采用透光材料制成，并且連接所述卡爪接觸單元8和所述卡爪臂10。所述卡爪臂10為長條狀，若干卡爪臂10連接到所述卡爪轉軸11上。所述卡爪轉軸11呈圓柱狀，并將所述卡爪2裝設在所述機座1上。其中，透光材料采用有機玻璃，采用焊接方式或螺紋連接等與所述卡爪接觸單元8和所述卡爪臂10相連接。所述卡爪轉軸11的延伸方向與所述卡爪臂10所在的平面相垂直。在本較佳實施例中，所述卡爪2具有三個卡爪臂10。