[發(fā)明專利]透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210002296.1
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN103192463A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張鵬;李學(xué)威;曲道奎;徐方;孫義田;溫燕修;何書龍;何偉全
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，所述透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)包括一機(jī)座、一裝設(shè)在所述機(jī)座上的卡爪以及一檢測所述晶圓上的缺口的傳感器，其特征在于：所述卡爪包括至少兩個卡爪接觸單元、至少兩個卡爪臂以及至少兩個與所述卡爪接觸單元和所述卡爪臂相連接的連接部，所述卡爪接觸單元夾持所述晶圓，所述卡爪臂支撐所述晶圓，所述連接部是透光材料制成，所述傳感器包括一光線發(fā)射端以及一光線接收端，所述光線發(fā)射端發(fā)射光線以檢測所述缺口位置。

2.如權(quán)利要求1所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述透光材料為有機(jī)玻璃材料。

3.如權(quán)利要求2所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述傳感器為一可透過有機(jī)玻璃的透過式激光傳感器，并可對光信號的微弱變化進(jìn)行補(bǔ)償。

4.如權(quán)利要求1所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述連接部以焊接方式或螺紋連接與所述卡爪接觸單元、所述卡爪臂相連接。

5.如權(quán)利要求1所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述卡爪接觸單元由透光材料制成。

6.如權(quán)利要求1所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述卡爪臂由透光材料制成。

7.如權(quán)利要求1所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)還包括一用以支撐所述晶圓的撐托，所述卡爪帶動所述晶圓旋轉(zhuǎn)，使所述晶圓的缺口對準(zhǔn)預(yù)設(shè)方向，所述卡爪松開所述晶圓并下降，使所述晶圓落在所述撐托上。

8.如權(quán)利要求7所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述卡爪還包括一卡爪轉(zhuǎn)軸，所述卡爪轉(zhuǎn)軸與所述卡爪臂連接，并將所述卡爪裝設(shè)在所述機(jī)座上，所述卡爪沿所述卡爪轉(zhuǎn)軸上升，將所述晶圓托起使所述晶圓所在平面高于所述撐托，所述卡爪夾持所述晶圓并繞所述卡爪轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)一周，由所述傳感器檢測出所述晶圓的缺口所在位置。

9.如權(quán)利要求1所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述卡爪接觸單元呈一鉤狀，用以夾持所述晶圓。

10.如權(quán)利要求1所述的透光夾持式預(yù)對準(zhǔn)機(jī)，其特征在于：所述卡爪包括三個卡爪接觸單元、三個卡爪臂以及三個與所述卡爪接觸單元和所述卡爪臂相連接的連接部。