[發明專利]晶圓缺口邊緣中心預對準方法

有效

• 申請號: 201210002247.8
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN103199046A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 徐方;曲道奎;鄒風山;賈凱;陳守良;李學威;宋吉來;褚明杰
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/66
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種晶圓缺口邊緣中心預對準方法，包括以下步驟：提供一旋轉臺電機，用以支撐旋轉一晶圓；一傳感器，用以采集晶圓邊緣數據和獲取相對應的旋轉臺電機的碼盤值；其特征在于：該方法還包括以下步驟：

數據采樣：所述旋轉臺電機帶動所述晶圓旋轉，所述傳感器采集所述晶圓旋轉一周過程中的邊緣數據，并同時獲取取對應的旋轉臺電機的碼盤值數據；

數據初處理：將所述傳感器得到的晶圓缺口數據及對應的電機臺碼盤值數據分別進行一階差分；

初處理數據歸一化：一階差分求比值，用以進行數據歸一化；

歸一化數據處理：比值后求一階差分，用以突出突變點；

缺口范圍確定：根據比值差分，設置閾值，超出閾值的點便為缺口的范圍內的點；由當前判定得到的缺口范圍內最大位置值點與最小位置值點的差，作為缺口范圍的初值，將該初值左右各擴大一倍，即認為是正常的缺口范圍；

確定缺口邊緣中心：根據缺口范圍內的詳細采樣數據，即可得到缺口邊緣的最低點的位置。

2.如權利要求1所述的晶圓缺口邊緣中心預對準方法，其特征在于：所述傳感器在旋轉電機旋轉第i角度時采樣得到晶圓邊緣值為：L_i，i∈(1，2，3...N)，Q_i為對應旋轉電機旋轉第i角度時的碼盤值。

3.如權利要求1所述的晶圓缺口邊緣中心預對準方法，其特征在于：所述晶圓邊緣數據進行一階差分之后得到差分值為：ΔL_i＝L_i+1-L_i，對應的旋轉臺電機的碼盤值數據進行一階差分之后得到的差分值為：ΔQ_i＝Q_i+1-Q_i，i∈(1，2，3...N)。

4.如權利要求3所述的晶圓缺口邊緣中心預對準方法，其特征在于：所述晶圓缺口邊緣數據的一階差分值與所述碼盤值數據的一階差分值的比值為：(i+1)，i∈(1，2，3...N)。

5.如權利要求4所述的晶圓缺口邊緣中心預對準方法，其特征在于：比值的一階差分值為：Yi=Xi+1-Xi=ΔLi+1ΔQi+1-ΔLiΔQi=L(i+2)-L(i+1)Q(i+2)-Q(i+1)-L(i+1)-LiQ(i+1)-Qi,]]>由此值可突出突變點。

6.如權利要求5所述的晶圓缺口邊緣中心預對準方法，其特征在于：對于形狀為尖錐形或圓弧形的缺口，可認為缺口范圍內傳感器采樣數據的最小值即為缺口邊緣中心點。