[發明專利]晶圓預對準裝置

有效

• 申請號: 201210002091.3
• 申請日: 2012-01-05
• 公開（公告）號: CN103199050A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 邊弘曄;張鵬;陳守良;曲道奎;徐方;李學威;溫燕修;鄒風山
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/68
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

技術領域

本發明涉及集成電路制造領域，特別是涉及一種晶圓預對準裝置。

背景技術

晶圓預對準控制是集成電路制造工藝中一個重要環節。因此，晶圓預對準裝置是集成電路制造工藝中不可或缺的裝置。晶圓預對準的目的是在晶圓被傳送到曝光臺之前，對晶圓進行定位處理，使得晶圓的圓心在一定的范圍之內或晶圓缺口停留在合適的角度。目前應用較多的晶圓預對準裝置是三爪式預對準機，對于晶圓的夾持，大多采取使其中一個爪徑向移動的方式來進行，而這種方式存在的問題是，預對準的過程中晶圓首先被放置在撐托上，而后卡爪上升承接晶圓并高出撐托，之后再夾緊晶圓，若采用三爪式并使其中一爪可動，而其他兩爪不可動，也就是說，其他兩爪無論夾緊還是松開晶圓，都始終保持一種狀態，這樣，當卡爪上升或下降時完全有可能使晶圓失衡而傾斜，造成無法夾持晶圓的后果。另外，有些采用二爪或四爪對稱兩相對移動的方式夾持晶圓邊緣，這樣晶圓邊緣只受來自相反的兩個方向上的力，受力不均，也可能造成無法夾持晶圓的后果。

發明內容

基于此，有必要提供一種穩定性較好的晶圓預對準裝置。

一種晶圓預對準裝置，包括：

基板，開設有第一通孔和多個第二通孔；

第一支撐裝置，包括支撐座、設置于所述支撐座上方并可相對所述支撐座上下運動的連接器和可轉動地設置于所述連接器上的多個第一支撐臂，所述多個第一支撐臂的中部與所述支撐座可轉動相連，且所述多個第一支撐臂相對所述連接器上下擺動而使所述多個第一支撐臂的端部相互遠離或相互靠近，所述支撐座中部開設有第一連接孔，所述連接器中部開設有第二連接孔，所述第一通孔、第一連接孔和第二連接孔連通且所述第一通孔、第一連接孔和第二連接孔的中心軸線重合；

第一驅動裝置，與所述支撐座相連，用于驅動所述第一支撐裝置相對所述基板旋轉；

第二支撐裝置，包括支撐板、設置于所述支撐板上的多個第二支撐臂和穿設所述支撐板的中部的連接柱，所述支撐板位于所述基板的下方，所述連接柱的一端依次穿過所述第一通孔、第一連接孔和第二連接孔而將所述基板、第一支撐裝置和第二支撐裝置連接在一起，所述多個第二支撐臂對應穿過所述多個第二通孔而與所述多個第一支撐臂位于所述基板的同一側；

第二驅動裝置，與所述支撐板連接，用于驅動所述多個第二支撐臂相對所述基板上下移動。

優選地，所述第一驅動裝置包括第一驅動電機，所述第一驅動電機通過帶輪傳動的方式驅動所述第一支撐裝置旋轉。

優選地，所述第二驅動裝置包括第二驅動電機和聯軸器，所述第二驅動電機的驅動軸與所述連接柱的另一端通過所述聯軸器連接以驅動所述第二支撐裝置相對所述支撐板上下運動。

優選地，所述第一支撐臂包括通過連接桿固定連接的第一擺臂和第二擺臂，所述第一擺臂的一端可轉動的設置于所述連接器上，所述連接桿與所述支撐座可轉動相連。

優選地，所述支撐座上設置有多個支腳和多個連桿，每一連桿的一端與一個支腳可轉動連接，每一連桿的另一端與所述連接桿可轉動連接。

優選地，所述第一連接臂遠離所述連接器的一端設置有第一晶圓支撐臺，所述第一晶圓支撐臺上形成有第一晶圓支撐面和第一晶圓邊緣接觸面，所述第二支撐臂遠離所述支撐板的一端的端部上設置有第二晶圓支撐臺，所述第二晶圓支撐臺上形成有第二晶圓支撐面。

優選地，當所述第一連接臂相對所述連接器上下擺動時，所述第一晶圓支撐面的任意點到所述支撐座頂面的距離大于所述第一支撐臂與所述連接器相連端到所述支撐座的距離。

優選地，所述第二晶圓支撐面與所述支撐板頂面平行，所述第二晶圓支撐面到所述支撐板頂面的距離大于所述第一支撐臂與所述連接器相連端到所述支撐板的距離。

優選地，還包括傳感器和控制單元，所述傳感器設置于所述基板上并與所述第一支撐裝置位于所述基板的同一側，所述傳感器用于檢測晶圓缺口所在位置；所述控制單元分別與所述第一驅動裝置、第二驅動裝置和傳感器電連接，并根據所述傳感器傳遞的晶圓缺口信號控制所述第一驅動裝置和第二驅動裝置工作。

優選地，還包括保護箱，所述保護箱為一端開口的箱體，所述基板、第一支撐裝置和第二支撐裝置連接在一起后放置于所述箱體內，所述基板密封所述箱體，所述支撐座、連接器、第一支撐臂和傳感器裸露于所述箱體外部，所述第二支撐臂部分裸露于所述箱體外部。