[發明專利]全自動膠膜涂覆、顯影裝置

有效

• 申請號: 201210001047.0
• 申請日: 2012-01-04
• 公開（公告）號: CN103199031A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 王沖
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/00;G03F7/16;G03F7/30
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：包括機器人(5)、盒站(11)、獨立對中單元(10)及晶片處理單元，其中盒站(11)位于獨立對中單元(10)的上方，所述機器人(5)位于裝置的中心，所述盒站(11)及晶片處理單元安裝在機器人(5)的周圍，所述機器人(5)通過機械手將晶片送到周圍的各晶片處理單元上。

2.按權利要求1所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述晶片處理單元設有1～7個工位，包括熱處理單元和離心單元，所述熱處理單元和離心單元可互換。

3.按權利要求2所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述熱處理單元為四層結構，該結構的每一層上放置高溫冷熱盤單元、低溫熱盤、表面曾粘單元或獨立對中機構中的一種。

4.按權利要求2所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述離心單元包括真空吸盤(20)、真空吸盤升降氣缸(18)、中空軸電機(19)、膠杯(21)、膠臂(22)、膠臂升降氣缸(24)、膠臂旋轉馬達(25)及藥業控制閥(26)，其中膠杯(21)位于真空吸盤(20)的下方，所述真空吸盤(20)分別與真空吸盤升降氣缸(18)及中空軸電機(19)連接，以實現真空吸盤(20)的升降或旋轉完成涂膠顯影；所述膠臂(22)位于真空吸盤(20)的上方、并分別與膠臂升降氣缸(24)及膠臂旋轉馬達(25)連接，以實現膠臂(22)的升降或旋轉，所述膠臂(22)通過藥業控制閥(26)控制光刻膠。

5.按權利要求4所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述離心單元的上方設有保濕盒(23)，完成工藝后的膠臂(22)上的膠嘴通過膠臂旋轉馬達(25)的驅動放入所述保濕盒(23)中；所述離心單元的下方設有廢液排放口(17)，該廢液排放口(17)與膠杯(21)連通，膠杯(21)收集的廢液通過所述廢液排放口(17)排出。

6.按權利要求1所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述盒站(11)包括片盒(30)、片盒限位塊(31)及盒站底板(29)，其中片盒(30)位于盒站底板(29)上、并通過片盒限位塊(31)定位。

7.按權利要求1所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述獨立對中單元(10)包括對中氣缸(27)、對中承片臺(28)、對中夾具(32)及對中承片臺升降氣缸(33)，其中對中承片臺(28)下方連接對中承片臺升降氣缸(33)，所述對中夾具(32)位于對中承片臺(28)的上方、并與對中氣缸(27)連接。

8.按權利要求1所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述裝置同時兼容2-6英寸圓形標準晶片。

9.按權利要求1所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述裝置預留有Interface接口，該接口與工廠自動化系統相連接。

10.按權利要求1所述的全自動膠膜涂覆、顯影裝置，其特征在于：所述裝置連接實現全天候不間斷供液的獨立化學品供應系統。